Влияние технологических параметров на структуру и морфологию поверхности углеродных пленок
Гладкий А.Н.1, Суздальцев С.Ю.1, Яфаров Р.К.1
1Саратовское отделение Института радиотехники и электроники РАН, Саратов, Россия
Поступила в редакцию: 30 марта 1999 г.
Выставление онлайн: 19 апреля 2000 г.
Установлены технологические факторы и условия, обеспечивающие управление процессами формирования морфологии поверхности пленок различных аллотропных фаз углерода с заданными свойствами, в частности величинами поверхностной плотности и размерами алмазоподобных и графитовых нано- и микрокристаллитов.
- Былинкина Н.Н., Муштакова С.П., Олейник В.А. и др. // Письма в ЖТФ. 1996. Т. 22. Вып. 6. С. 43--47
- Уббелоде А.Р., Льюис Ф.А. Графит и его кристаллические соединения. М.: Мир, 1965. С. 185
- Таиров Ю.М., Цветков В.Ф. Технология полупроводниковых и диэлектрических материалов. М.: Высшая школа, 1990. 424 с
Подсчитывается количество просмотров абстрактов ("html" на диаграммах) и полных версий статей ("pdf"). Просмотры с одинаковых IP-адресов засчитываются, если происходят с интервалом не менее 2-х часов.
Дата начала обработки статистических данных - 27 января 2016 г.
© 2024 Физико-технический институт им. А.Ф. Иоффе Российской академии наук