Журнал технической физики

Авторам

Правила оформления публикаций

Вышедшие номера

2024
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11
2023
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
2022
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
2021
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
2020
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
2019
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
2018
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
2017
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
2016
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
2015
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
2014
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
2013
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
2012
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
2011
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
2010
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
2009
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
2008
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
2007
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
2006
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
2005
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
2004
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
2003
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
2002
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
2001
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
2000
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
1999
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
1998
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
1997
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
1996
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
1995
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
1994
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
1993
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
1992
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
1991
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
1990
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
1989
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
1988
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12

Мишени на основе ферритов и высокотемпературных сверхпроводников для ионно-плазменного распыления

Лепешев А.А., Саунин В.Н., Телегин С.В., Полякова К.П., Середкин В.А., Польский А.И.¹

¹Институт физики им. Л.В. Киренского Сибирского отделения Российской академии наук, Красноярск, Россия Kirensky Institute of Physics, Federal Research Center KSC SB, Russian Academy of Sciences, Krasnoyarsk, Russia

Kirensky Institute of Physics, Federal Research Center KSC SB, Russian Academy of Sciences, Krasnoyarsk, Russia

Поступила в редакцию: 30 марта 1999 г.

Выставление онлайн: 19 апреля 2000 г.

PDF версия

Абстракт
Литература
Статистика просмотров

Описан способ получения мишеней для ионно-плазменного распыления с использованием метода плазменного напыления соответствующих порошков на охлаждаемую металлическую основу. Показано, что применение плазменной технологии дает возможность изготавливать в контролируемой атмосфере мишени сложной формы из керамических материалов, обеспечивая их высокую однородность по составу, а также надежный механический и тепловой контакт получаемого покрытия с основой-держателем. Проведены эксперименты по ионно-плазменному распылению мишеней с целью получения поликристаллических пленок ферритов для магнитооптических применений и эпитаксиальных пленок высокотемпературных сверхпроводников.

Саунин В.Н., Лепешев А.А. Препринт ИФ СО РАН. Красноярск, 1990. N 675 Ф. 49 с
Данилин В.С., Сырчин В.К. // Магнетронные распылительные системы. М.: Радио и связь, 1982. 152 с
Шермергор Т.Д., Стрельцова Н.Н. // Пленочные пьезоэлектрики. М.: Радио и связь, 1986. 137 с
Третьяков Ю.Д. // Термодинамика ферритов. Л.: Химия, 1967. 304 с
Лепешев А.А., Павлов В.Ф., Полякова К.П. и др. // Автометрия. 1995. N 3. С. 50--57
Полякова К.П., Середкин В.А., Лепешев А.А. и др. // Неорган. материалы. 1998. Т. 34. N 8. С. 970--973

Подсчитывается количество просмотров абстрактов ("html" на диаграммах) и полных версий статей ("pdf"). Просмотры с одинаковых IP-адресов засчитываются, если происходят с интервалом не менее 2-х часов.

Дата начала обработки статистических данных - 27 января 2016 г.

Учредители

Издатель