Распределение по глубине вакансий, возникающих при облучении поверхности твердого тела потоком ускоренных ионов
Корнюшкин Ю.Д.1
1Санкт-Петербургский институт точной механики и оптики (Технический университет) Санкт-Петербург, Россия
Поступила в редакцию: 4 июня 1996 г.
Выставление онлайн: 19 марта 1998 г.
На основе использования кинетической теории переноса получены аналитические зависимости дозы поглощенного потока первичных частиц и дозы поглощенной энергии первичных частиц на различной глубине твердого тела конечной или полубесконечной толщины при облучении поверхности потоком ускоренных ионов (атомов) в направлении нормали к поверхности. Сравнение с опытом проводилось для твердотельных пленок кремния толщиной 50, 100 и 400 nm, облучаемых потоком ускоренных ионов бора с энергией 10 и 20 keV. Установленные закономерности были использованы для вычисления распределения вакансий по глубине, возникающих в твердом теле при облучении поверхности твердого тела потоком ускоренных ионов. Разработанная методика позволяет определить распределение вакансий по глубине, созданных потоком ускоренных электронов, нейтронов, квантов электромагнитного излучения.
- Касымов А.Х. Поверхностные свойства твердых тел, легированных ионной бомбардировкой. Ташкент: Фан, 1987. 130 с
- Броудай И., Мерей Дж. Физические основы микротехнологии. М.: Мир, 1985. 496 с
- Lagby R.A., Bohdansky J., Eckstein W. et al. Nucl. Fusion Special Issue. 1984. 21 p
- Atomic and Plasma-Material Interaction Data for Fusion // Nucl. Fusion Supplement. 1991.Vol. 1. P. 1--40
- Fink D., Biersack J.P., Behar M. et al. // Appl. Phys. 1985. Vol. 58. P. 668--675
- Wang Ke-Ming, Liu Xi-Ju, Wang Ji-Hua et al. // J. Phys. D. 1988. Vol. 21. P. 1624--1626
- Dresselhaus M.S., Lusnikow A. // Synthet. Metal. 1988. Vol. 23. P. 401--406
- Корнюшкин Ю.Д. // ФТТ. 1978. Т. 20. Вып. 6. С. 1175--1179
- Корнюшкин Ю.Д. // Поверхность. 1992. N 12. С. 13--18
- Парилис Э.С., Тураев Н.Ю., Умаров Ф.Ф., Нижная С.А. Теория рассеяния атомов средних энергий поверхностью твердого тела. Ташкент: фан, 1987. 212 с
- Квилидзе В.А., Красильников С.С. Введение в физику атомных столкновений. М.: Изд-во МГУ, 1985. 224 с
- Корнюшкин Ю.Д. // Поверхность. 1992. N 7. С. 40--96
- Кумахов М.А., Комаров Ф.Ф. Энергетические потери и пробеги ионов в твердых телах. Минск, 1979. 320 с
- Ito R., Tabata T., Shirai T., Phaneuf R.A. // JAERI-M rep. Tokio, 1993. 93 p
- Мукашев Б.Н., Смирнов В.В., Калбитцер З., Вейзер М. // Поверхность. 1990. N 3. С. 72--78
- Motooka T., Holland O.W. // Appl. Phys. Lett. 1992. Vol. 61. N 25. P. 3005
- Biersack J.P. // Nucl. Instr. Meth. 1980. Vol. 174. P. 257
Подсчитывается количество просмотров абстрактов ("html" на диаграммах) и полных версий статей ("pdf"). Просмотры с одинаковых IP-адресов засчитываются, если происходят с интервалом не менее 2-х часов.
Дата начала обработки статистических данных - 27 января 2016 г.
© 2024 Физико-технический институт им. А.Ф. Иоффе Российской академии наук