"Журнал технической физики"
Издателям
Вышедшие номера
Магнетронное осаждение тонких пленок Cu(200) на подложки Ni(200)/SiO2/Si
Джумалиев А.С.1, Никулин Ю.В.1, Филимонов Ю.А.1
1Саратовский филиал Института радиотехники и электроники им. В.А. Котельникова РАН, Саратов, Россия
Email: yvnikulin@gmail.com
Поступила в редакцию: 19 декабря 2013 г.
Выставление онлайн: 19 июня 2014 г.

Экспериментально показана возможность ориентированного роста тонких пленок меди с текстурой (200) на подложке SiO2/Si методом магнетронного распыления в условиях среднего вакуума, когда в качестве ориентирующего подслоя выступает предварительно осажденная пленка никеля с текстурой (200).
  • Corredor E.C., Diez-Ferrer J.L., Coey D. et al. // J. Phys. 2010. Vol. 200. P. 072 019
  • Pan W., Shih Y.-T., Lee K.-L. et al. // J. Appl. Phys. 2012. Vol. 111. P. 07C113
  • O'Brien W.L., Tonner B.P. // J. Appl. Phys. 1996. Vol. 79. P. 5623
  • Johnson M.T., Bloemen P.J., den Broeder F.J.A., de Vries J.J. // Rep. Prog. Phys. 1996. Vol. 59, P. 1409
  • Shin H.-J., Yoon S.-M., Choi W.-M. et al.// Appl. Phys. Lett. 2013. Vol. 102, P. 163 102
  • Koike J., Wada M., Sanada M., Maruyama K. // Appl. Phys. Lett. 2002. Vol. 81. P. 1017
  • Park N.-J., Field D.P., Nowell M.M., Besser P.R. // J. Electron. Mat. 2005. Vol. 34. P. 1500--1507
  • Muller B., Nedelmann L., Fischer B. et al. // Surf. Rev. Lett. 1997. Vol. 4, P. 1161--1165
  • Demczyk B.G., Naik F.L., Auner G., Kota C., Rao U. // J. Appl. Phys. 1994. Vol. 75. P. 1956
  • Purswani J.M., Spila T., Galla D. // Th Sol. Film. 2006. Vol. 515. P. 1166--1170
  • Jiang H., Klemmer T., Barnard J., Payzant E. // J. Vac. Sci. Techn. A. 1998. Vol. 16. P. 3376--3383
  • Zhou G., Yang J.C. // J. Mater. Res. 2005. Vol. 20. P. 1684--1694
  • Hashim I., Park B., Atwater H.A. // Appl. Phys. Lett. 1993. Vol. 63. P. 2833--2835
  • Krastev E.T., Voice L.D., Tobin R.G. // J. Appl. Phys. 1996. Vol. 79. P. 6865--6871
  • Francis A.J., Cao Y., Salvador P.A. // Th. Sol. Film. 2006. Vol. 496. P. 317--325
  • LeeB.-J., Shim J.-H., Baskes M.I. // Phys. Rev. B. 2003. Vol. 68. P. 144 112--11
  • Okolo B., Lamparter P., Welzel U. et al. // Th. Sol. Film. 2005. Vol. 474. P. 50--63
  • Sonnweber-Ribic P., Gruber P., Dehm G., Arzt E. // Acta Mater. 2006. Vol. 54. P. 3863--3870
  • Sonnweber-Ribic P. Grain growth and texture evolution in copper thin films // Ph.D. Thesis, Max-Planck-Institut fur Metallforschung, Stuttgart, 2010
  • Thompson C.V., Carel R. // J. Mech. Phys. Sol. 1996. Vol. 44. P. 657--673
  • Джумалиев А.С, Никулин Ю.В., Филимонов Ю.А. // РЭ. 2012. T. 57. C. 1--8
  • Джумалиев А.С., Никулин Ю.В., Филимонов Ю.А. // Письма в ЖТФ. 2013. T. 39. C. 10--17
  • Karunaisiri R.P.U., Bruinsma R., Rudnick J. // Phys. Rev. Lett. 1989. Vol. 62. P. 788
  • Подсчитывается количество просмотров абстрактов ("html" на диаграммах) и полных версий статей ("pdf"). Просмотры с одинаковых IP-адресов засчитываются, если происходят с интервалом не менее 2-х часов.

    Дата начала обработки статистических данных - 27 января 2016 г.