Предложена модель неупругого распыления диэлектриков быстрыми многозарядными ионами. Рассматривается динамика электронной и решеточной температуры при релаксации области возбуждения вследствие низкотемпературной волны ионизации. Распыление атомов определяется их испарением с поверхности мишени. Приводятся выражения для коэффициента распыления и величины характерной температуры испаренных атомов.

Подсчитывается количество просмотров абстрактов ("html" на диаграммах) и полных версий статей ("pdf"). Просмотры с одинаковых IP-адресов засчитываются, если происходят с интервалом не менее 2-х часов.

Дата начала обработки статистических данных - 27 января 2016 г.