Проведен теоретический анализ работы дифференциального оптического фазового микроскопа при различных параметрах оптической схемы. Рассмотрены возможности улучшения разрешения микроскопа по глубине и в плоскости объекта. Проведено экспериментальное исследование характеристик реализованного микроскопа и достигнуто разрешение по глубине рельефа 2 Angstrem и в плоскости объекта 2.5 мкм. С помощью микроскопа измерены толщины тонких (~20 Angstrem) слоев металла на кремнии, рельеф поверхности ниобата лития после термодиффузии полосок титана шириной до 12 мкм, временные зависимости и распределение фоторефрактивного изменения показателя преломления ниобата лития.

Подсчитывается количество просмотров абстрактов ("html" на диаграммах) и полных версий статей ("pdf"). Просмотры с одинаковых IP-адресов засчитываются, если происходят с интервалом не менее 2-х часов.

Дата начала обработки статистических данных - 27 января 2016 г.