Рассмотрены особенности получения пьезоэлектрических пленок ZnO, AlN и Ta₂O₅. Проведена теоретическая оценка минимально возможного коэффициента поглощения ПАВ в текстурированных пленках с учетом различных механизмов поглощения. Дано сравнение этих коэффициентов с аналогичными коэффициентами для монокристаллов тех же материалов. Предложены и экспериментально проверены методики расчета коэффициента поглощения и температурного коэффициента задержки (ТКЗ) для ПАВ Рэлея и ПАВ Сезава в слоистых структурах. Дан сравнительный анализ акустических характеристик слоистых структур на основе пленок ZnO, AlN и Ta₂O₅.

Подсчитывается количество просмотров абстрактов ("html" на диаграммах) и полных версий статей ("pdf"). Просмотры с одинаковых IP-адресов засчитываются, если происходят с интервалом не менее 2-х часов.

Дата начала обработки статистических данных - 27 января 2016 г.