Журнал технической физики
Авторам
Вышедшие номера
- 2024
- 2023
- 2022
- 2021
- 2020
- 2019
- 2018
- 2017
- 2016
- 2015
- 2014
- 2013
- 2012
- 2011
- 2010
- 2009
- 2008
- 2007
- 2006
- 2005
- 2004
- 2003
- 2002
- 2001
- 2000
- 1999
- 1998
- 1997
- 1996
- 1995
- 1994
- 1993
- 1992
- 1991
- 1990
- 1989
- 1988
Насыщение положительного заряда в окисле МОП структур при облучении при криогенных температурах
1Институт физики полупроводников им. А.В. Ржанова Сибирского отделения Российской академии наук, Новосибирск, Россия 
Поступила в редакцию: 19 мая 1995 г.
Выставление онлайн: 19 сентября 1996 г.
Представлены результаты по численному моделированию процесса генерации заряда при облучении в подзатворном окисле МОП структуры при 80 K. Подробно рассмотрен случай больших поглощенных доз, когда зависимость ухода напряжения плоских зон от дозы выходит на насыщение. Показано, что с ростом дозы захваченный заряд локализуется в пределах узкого слоя, положение которого зависит от приложенного смещения. Величина ухода напряжения плоских зон в насыщении определяется одним из двух механизмов удаления дырок из окисла - рекомбинацией захваченных в окисле дырок с туннелирующими электронами при смещениях на затворе меньше 3-5 В или дырочным транспортом по ловушкам при смещениях больше 3-5 В.
- Boesch H.E., McGarrity J.M. IEEE Trans. on Nucl. Sci. 1976. Vol. 23(6). P. 1520--1525
- Klein R.B., Saks N.S., Shanfield Z. IEEE Trans on Nucl. Sci. 1990. Vol. 37(6). P. 1690--1695
- Митчел Дж., Уилсон Д. Поверхностные эффекты в полупроводниковых приборах, вызванные радиацией. М.: Атомиздат, 1980. 93 с
- Hugnes R.C. Appl. Phys. Lett. 1975. Vol. 26. P. 436--438
- Ausman A., McLean F.B. Appl. Phys. Lett. 1975. Vol. 26. P. 173--175
- McLean F.B. IEEE Trans. on Nucl. Sci. 1988. Vol. 35(6). P. 1178--1185
- Othmer S., Srour J.R. Proc. of the Intern. Conf. on the Phys. of MOS Insulators. Raleigh: Pergamon Press, 1980. P. 49--53
- Ning T.N. J. Appl. Phys. 1976. Vol. 47(7). P. 3203--3208
- Boesch H.E., McLean F.B., Benedetto J.M., McGarrity J.M. IEEE Trans. on Nucl. Sci. 1986. Vol. 33(6). P. 1191--1196
- Boesch H.E., McLean F.B., McGarrity J.M., Winokur P.S. IEEE Trans. on Nucl. Sci. 1978. Vol. 25(6). P. 1239--1245
- Boesch H.E., McLean F.B. IEEE Trans. on Nucl. Sci. 1985. Vol. 32(6). P. 3940--3945
- McLean F.B., Boesch H.E., McGarrity J.M. IEEE Trans. on Nucl. Sci. 1976. Vol. 23(6). P. 1506--1512
- Benedetto J.M., Boesch H.E., McLean F.B., Mize J.P. IEEE Trans. on Nucl. Sci. 1985. Vol. 32(6). P. 3916--3920
- Oldham T.R., Lelis A.J., McLean F.B. IEEE Trans. on Nucl Sci. 1986. Vol. 33(6). P. 1203--1209
- Shirley C.G. J. Electroch. Soc. 1985. Vol. 132(2). P. 488--499
- Weinberg Z.A., Fischetti M.V. J. Appl. Phys. 1985. Vol. 57(2). P. 443--452
- DiMaria D.J., Fischetti M.V. Proc. Symp. on the Phys. and Chem. of SiO_2 and the Si/SiO_2 Interf. New York: Plenum Press, 1988. P. 509--513
Подсчитывается количество просмотров абстрактов ("html" на диаграммах) и полных версий статей ("pdf"). Просмотры с одинаковых IP-адресов засчитываются, если происходят с интервалом не менее 2-х часов.
Дата начала обработки статистических данных - 27 января 2016 г.
