Частотно-емкостной метод определения электростатических параметров полупроводниковых структур с потенциальным барьером
Гольдберг Ю.А.1
1Физико-технический институт им. А.Ф. Иоффе РАН, Санкт-Петербург, Россия
Поступила в редакцию: 22 ноября 1994 г.
Выставление онлайн: 20 декабря 1995 г.
Критический анализ методики измерения импеданса структур с потенциальным барьером позволил объяснить причины отличий многих экспериментальных данных по зависимости емкости C от напряжения U от классических теорий. Разработан частотно-емкостной метод определения истинных электростатических параметров поверхностно-барьерных структур, заключающийся в измерении семейства C-U-характеристик при разных частотах, определении истинного значения диффузионной разности потенциалов из зависимости напряжения отсечки от частоты и восстановления истинной C-U-характеристики в координатах C-2-U.
- Schottky W. Z. Phys. 1942. Vol. 118. N 9/10. P. 539--592
- Shockley W. Bell System Techn. J. 1949. Vol. 28. P. 435
- Sah C.T., Reddi V.G.K. IEEE Trans. on Electron. Dev. 1964. Vol. ED-11. N 7. P. 345--348
- Перель В.И., Эфрос А.Л. ФТП. 1967. Т. 1. N 11. С. 1693--1701
- Crowell C.R., Nakano K. Sol. St. Electron. 1972. Vol. 15. N 6. P. 605--610
- Родерик Э.Х. Контакты металл--полупроводник. Пер. с англ. М.: Радио и связь, 1982. С. 78
- Thanailakis A., Rasul A. J. Phys. C. 1976. Vol. 9. P. 337
- Ковальчук А.В. ФТП. 1985. Т. 19. Вып. 2. С. 307--320
- Константинов О.В., Мезрин О.А. ФТП. 1983. Т. 16. Вып. 2. С. 305--311
- Гольдберг Ю.А., Иванова О.В., Львова Т.В., Царенков Б.В. ФТП. 1983. Т. 17. Вып. 6. С. 1068--1072
- Гольдберг Ю.А., Иванова О.В., Львова Т.В., Царенков Б.В. ФТП. 1984. Т. 18. Вып. 8. С. 1472--1475
- Гольдберг Ю.А., Джаманбалин К.К., Дмитриев А.Г. и др. ЖТФ. 1990. Т. 60. Вып. 11. С. 208--209
Подсчитывается количество просмотров абстрактов ("html" на диаграммах) и полных версий статей ("pdf"). Просмотры с одинаковых IP-адресов засчитываются, если происходят с интервалом не менее 2-х часов.
Дата начала обработки статистических данных - 27 января 2016 г.