"Журнал технической физики"
Издателям
Вышедшие номера
Алмазоподобный гидрогенизированный углерод, легированный медью: спектральная интерферометрия
Иванов-Омский В.И.1, Криворотов И.Н.1, Ястребов С.Г.1
1Физико-технический институт им. А.Ф. Иоффе РАН, Санкт-Петербург, Россия
Поступила в редакцию: 6 декабря 1994 г.
Выставление онлайн: 20 августа 1995 г.

Описан метод определения оптических параметров геометрически неоднородной (клиновидной) пленки. Метод применен для анализа спектров отражения и пропускания слоев аморфного гидрогенизированного углерода, осажденных на подложки из плавленого кварца в процессе магнитоплазменного (магнетронного) сораспыления графитовой и медной мишеней в атмосфере аргон-водородной плазмы (20%H2 и 80%Ar). Анализ оптических констант, полученных в результате расчета, позволил установить, что медь, входя в матрицу аморфного углерода, формирует нанокомпозит с различными размерами металлических включений --- от единиц (в диапазоне концентраций от x=0-20 ат.% меди) до десятков ангстрем (x>20%), что проявляется в формировании характерной для поверхностных плазменных колебаний электронного газа в сферических металлических частицах полосы оптического поглощения, с максимумом, лежащим вблизи 2 эВ.
  • Ivanov-Omskii V.I., Abaev M.I., Yastrebov S.G. MRS 1994. Spring Meeting Symposium Proc. T.: Novel Forms of Carbon II. Paper T7.61
  • Аверьянов В.Л., Базиева Н.Е., Мастеров В.Ф. и др. Письма в ЖТФ. 1993. Т. 19. Вып. 12. С. 77
  • Novel H. Phys. Rev. B. 1993. Vol. 48. N 24. P. 1817
  • Swanepoel R. J. Phys. E. 1983. Vol. 16. P. 1214
  • Swanepoel R. S.-Afr. Tydskr. Fis. 1989. Vol. 12. N 4. P. 148
  • Smith F.W. J. Appl. Phys. 1984. Vol. 55. P. 764
  • Muik K., Basa D.K., Smith F.W., Coderman R. Phys. Rev. B. 1987. Vol. 35. P. 8089
  • Петров Ю.И. Физика малых частиц. М.: Наука, 1982. 359 с
  • Kreibig U. J. Phys. F. 1974. Vol. 4. P. 999
  • Johnson P.B., Christy R.W. Phys. Rev. B. 1972. Vol. 6. N 12. P. 4370
  • Ruppin R. J. Appl. Phys. 1986. Vol. 59. N 4. P. 1355
  • Аззам Р., Башара Н. Эллипсометрия и поляризованный свет / Под ред. А.В. Ржанова. М.: Мир, 1981. 583 с
  • Подсчитывается количество просмотров абстрактов ("html" на диаграммах) и полных версий статей ("pdf"). Просмотры с одинаковых IP-адресов засчитываются, если происходят с интервалом не менее 2-х часов.

    Дата начала обработки статистических данных - 27 января 2016 г.