"Журнал технической физики"
Издателям
Вышедшие номера
Эллипсометрия in situ при выращивании пленок твердых растворов кадмий--ртуть--теллур методом МЛЭ
Свиташев К.К.1, Швец В.А.1, Мардежов А.С.1, Дворецкий С.А.1, Сидоров Ю.Г.1, Варавин В.С.1
1Институт физики полупроводников им. А.В. Ржанова Сибирского отделения Российской академии наук, Новосибирск, Россия
Поступила в редакцию: 7 октября 1994 г.
Выставление онлайн: 20 августа 1995 г.

Применение эллипсометрии в качестве метода контроля процесса МЛЭ при росте слоев КРТ позволило решить ряд проблем, таких как определение скорости роста, контроль морфологии и состава синтезируемых слоев, и получить пленки высокого структурного совершенства, пригодные для изготовления фоточувствительных структур.
  • Demay Y., Galliard J.P., Medina P. J. Cryst. Growth. 1987. Vol. 81. P. 97--100
  • Мардежов А.С., Михайлов Н.Н., Швец В.А. Поверхность. Физика, химия, механика. 1990. N 12. С. 92--96
  • Demay Y., Arnoult D., Galliard J.P., Medina P. J. Vac. Sci. Technol. 1987. Vol. A5. P. 3139--3142
  • Hartley R.H. et al. J. Cryst. Growth. 1992. Vol. 117. P. 166--170
  • Sabinina I.V., Cutakovsky A.K., Sidorov Yu.G. et al. J. Cryst. Growth. 1992. Vol. 117. P. 238--243
  • Баютова О.Р., Мардежов А.С., Покровский Л.Д. и др. Автометрия. 1993. N 1. С. 98--105
  • Брагинский Л.С., Гилинский И.А., Свиташева С.Н. ДАН. 1987. Т. 293. N 5. С. 1097--1101
  • McLevige W.V., Arias J.M., Edwall D.D., Johnston S.L. J. Vac. Sci. Technol. 1991. Vol. B9. N 5. P. 2483--2486
  • Arvin H., Aspnes D.E., Rhiger D.R. J. Appl. Phys. 1983. Vol. 54. N 12. P. 7132--7138
  • Arvin H., Aspnes D.E. J. Vac. Sci. Technol. A. 1984. Vol. 2. N 3. P. 1316--1323
  • Vina L., Umbach C., Cardona M., Vodopyanov L. Phys. Rev. B. 1984. Vol. 29. N 12. P. 6752--6760
  • Варавин В.С., Сидоров Ю.Г., Ремесник В.Г. и др. ФТП. 1994. Т. 28. Вып. 4. С. 577--583
  • Гутаковский А.К., Елисеев В.М., Любинская Р.И. и др. Поверхность. 1988. N 9. С. 80--88
  • Мардежов А.С., Швец В.А., Свешникова Л.Л., Данилова М.Г. Поверхность. 1989. N 7. С. 125--130
  • Корнюшкин А.А., Курдина Т.И., Мардежов А.С. и др. Поверхность. 1991. N 8. С. 94--100
  • Aspnes D.E. Thin Solid Films. 1982. Vol. 89. P. 249--262
  • Подсчитывается количество просмотров абстрактов ("html" на диаграммах) и полных версий статей ("pdf"). Просмотры с одинаковых IP-адресов засчитываются, если происходят с интервалом не менее 2-х часов.

    Дата начала обработки статистических данных - 27 января 2016 г.