Вышедшие номера
Эллипсометрия in situ при выращивании пленок твердых растворов кадмий--ртуть--теллур методом МЛЭ
Свиташев К.К.1, Швец В.А.1, Мардежов А.С.1, Дворецкий С.А.1, Сидоров Ю.Г.1, Варавин В.С.1
1Институт физики полупроводников им. А.В. Ржанова Сибирского отделения Российской академии наук, Новосибирск, Россия
Поступила в редакцию: 7 октября 1994 г.
Выставление онлайн: 20 августа 1995 г.

Применение эллипсометрии в качестве метода контроля процесса МЛЭ при росте слоев КРТ позволило решить ряд проблем, таких как определение скорости роста, контроль морфологии и состава синтезируемых слоев, и получить пленки высокого структурного совершенства, пригодные для изготовления фоточувствительных структур.