Изменение фазового состава и электрофизических характеристик системы титан--кремний при воздействии лазерного излучения в ароматических углеводородах
Чапланов А.М.1, Шибко А.Н.1
1Институт электроники АН Беларуси,, Минск, Беларусь
Поступила в редакцию: 18 февраля 1994 г.
Выставление онлайн: 19 ноября 1994 г.
Исследовано влияние лазерного воздействия на систему титан-кремний в толуоле и бензоле. Обработка в толуоле стимулирует синтез карбида титана. При обработке системы в бензоле происходят образование и рост оксидов и силицидов титана. Установлена корреляция между изменением фазового состава и электрофизических параметров контакта титан-кремний.
- Boulmer-Leborgne C., Hermann I. Appl. Surf. Sci. 1992. Vol. 54. P. 349--352
- Majni G., Nava F., Ottaviani G. et al. Vacuum. 1982. Vol. 32. N 1. P. 11--19
- Бункин Ф.В., Кириченко Н.А., Лукьянчук Б.С. УФН. 1982. Т. 138. С. 45--94
- Чапланов А.М., Шибко А.Н. Электрон. обраб. материалов. 1990. N 6. С. 19--22
- Робертс Дж., Касерио М. Основы органической химии. М.: Мир, 1968. 516 с
- Чапланов А.М., Шибко А.Н., Тявловская Е.А., Каспаров К.Н. Междунар. конф. "Оптика лазеров-93". СПб., 1993. Т. 2. С. 541
- Родерик Э.Х. Контакты металл--полупроводник. М.: Радио и связь, 1982. 208 с
Подсчитывается количество просмотров абстрактов ("html" на диаграммах) и полных версий статей ("pdf"). Просмотры с одинаковых IP-адресов засчитываются, если происходят с интервалом не менее 2-х часов.
Дата начала обработки статистических данных - 27 января 2016 г.
© 2024 Физико-технический институт им. А.Ф. Иоффе Российской академии наук