Ранее было обнаружено, что высокочастотный (ВЧ) емкостный разряд может характеризоваться двумя значениями нормальной плотности тока. В работе исследовались причины неоднородности ВЧ разряда поперек протекания тока при средних давлениях в режиме меньшей нормальной плотности тока. Показано, что устойчивость разряда существенным образом зависит от типа электродов: в случае металлических электродов стабилизирующее влияние приэлектродных слоев в четыре раза меньше, чем в случае, когда электроды покрыты тонким диэлектрическим слоем. Для неустойчивости, связанной со ступенчатой ионизацией, наиболее опасны возмущения, вытянутые вдоль тока, не затрагивающие приэлектродные слои. Оба эти факта свидетельствуют, что критерий устойчивости по наклону ВАХ может быть ошибочным. На основе сопоставления расчетов и экспериментов делается вывод о том, что режим меньшей нормальной плотности тока (НПТ) в аргоне и азоте связан с перегревной неустойчивостью, а в гелии основной тип неустойчивости не тепловой. На основе анализа границы между плазменной областью и периферией показано, что в случае перегревной неустойчивости разряда с диэлектрическими электродами нормальная плотность тока в 1.5 раз больше значения плотности тока в минимуме ВАХ; соответствующие напряжения отличаются незначительно. Структура переходной области оказывается важной и при рассмотрении режимов разряда с двумя минимумами ВАХ. В частности, показан, что в определенных условиях устойчивые состояния не могут граничить друг с другом, а множественность форм НПТ может привести к зависимости формы разряды от его предыстории.

Подсчитывается количество просмотров абстрактов ("html" на диаграммах) и полных версий статей ("pdf"). Просмотры с одинаковых IP-адресов засчитываются, если происходят с интервалом не менее 2-х часов.

Дата начала обработки статистических данных - 27 января 2016 г.