Журнал технической физики

Авторам

Правила оформления публикаций

Вышедшие номера

2024
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11
2023
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
2022
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
2021
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
2020
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
2019
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
2018
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
2017
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
2016
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
2015
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
2014
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
2013
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
2012
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
2011
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
2010
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
2009
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
2008
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
2007
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
2006
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
2005
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
2004
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
2003
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
2002
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
2001
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
2000
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
1999
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
1998
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
1997
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
1996
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
1995
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
1994
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
1993
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
1992
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
1991
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
1990
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
1989
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
1988
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12

О применении многоугловой эллипсометрии для исследования и контроля тонкослойных поглощающих оптических покрытий

Аверьянов В.Л.¹, Федоров В.А.¹, Ястребов С.Г.¹

¹Физико-технический институт им. А.Ф. Иоффе РАН, Санкт-Петербург, Россия Ioffe Institute, St. Petersburg, Russia

Поступила в редакцию: 23 июня 1993 г.

Выставление онлайн: 20 декабря 1993 г.

PDF версия

Абстракт
Литература
Статистика просмотров

Сообщается о разработке методов решения обратной задачи многоугловой отражательной эллипсометрии, позволяющих для модели Друде отражающей системы с высокой точностью определять основные оптические характеристики тонкослойных поглощающих сред, а также контролировать оптическую однородность получаемых пленок, что позволяет применить предложенные методы для неразрушающего контроля изготавливаемых оптических дисков и покрытий. Обсуждается также проблема выбора оптимальных светорегистрирующих сред для создания оптических дисков с требуемыми характеристиками.

Пшеницын В.И., Абаев М.И., Лызлов Н.Ю. Эллипсометрия в физико-химических исследованиях. Л.: Химия, 1986. 152 с
Holmes D.A. Appl. Opt. 1967. Vol. 6. N 1. P. 168
Ястребов С.Г. Об аналитическом решении обратной задачи эллипсометрии. Препринт ФТИ. N 1578. СПб., 1992. 16 с
Honig V., Fedorov V., Liebmann G., Suptitz P. Phys. Stat. Sol. (a). 1986. Vol. 96. P. 611
Аззам Р., Башара Н. Эллипсометрия и поляризованный свет. М.: Мир, 1981. 583 с
Malin M., Vedam K. Surf. Sci. 1976. Vol. 56. P. 49--63
Бакулин Ю.К., Захватов А.Н., Любин В.М., Орлов В.М., Федоров В.А. Тез. конф. Некристаллические полупроводники-89. Ужгород, 1989. С. 219--223
Попов П.А., Даскалов О.Д., Неделчева Е.И., Цанков Н.П. Памети с оптичне дискове. София: Техника, 1988. 240 с
Боухьюз Г., Браат Дж., Хейсер А., Пасман Дж. и др. Оптические дисковые системы. М.: Радио и связь, 1991. 280 с

Подсчитывается количество просмотров абстрактов ("html" на диаграммах) и полных версий статей ("pdf"). Просмотры с одинаковых IP-адресов засчитываются, если происходят с интервалом не менее 2-х часов.

Дата начала обработки статистических данных - 27 января 2016 г.

Учредители

Издатель