Устройство для визуализации электрических неоднородностей и пространственных нарушений в полуизолирующем арсениде галлия
Лебедева Н.Н.1, Орбух В.И.1, Гадирова И.Р.1
1Бакинский университет
Поступила в редакцию: 26 августа 1992 г.
Выставление онлайн: 19 сентября 1993 г.
Описывается устройство для визуализации электрических и пространственных нарушений в полуизолирующем (rho<= 106 Ом· см) арсениде галлия. Приведены фотографии свечения газа в зазоре и поверхности полупроводника после травления ее в разряде, которые демонстрируют совпадение по основному рисунку картины. Такой же рисунок дает картина химического травления поверхности для выявления дислокаций, что указывает на возможность визуализировать в устройстве и пространственные нарушения.
- DRIP I Symp. Montpellier, 1985. Proc. / Ed. J.P.Fillard (Elsevier). MS monographs. 1985. Vol. 31
- DRIP II Symp. Proc. / Ed. E.Weber (Elsevier). MS monographs. 1987. Vol. 44
- Martin G.M., Makram-Ebeid S. Deep Levels in Semiconductors / Ed. Pantelides. 1983
- Brozel M.R., Crant I., Ware R.M., Stirland D.J. Appl. Phys. Lett. 1983. Vol. 42. P. 610
- Bonnafe J., de Murcia M., Castagne M., Fillard J.P. Phys. St. Sol. 1983. Vol. 16. P. K147
- Skolnik M.S. DRIP I Symp. (Elsevier). MS Monographs. 1985. Vol. 31. P. 165
- Silverberg P., Nielsen L., Omling P., Samuelson L. DRIP I Symp. (Elsevier). MS Monographs. 1985. Vol. 31. P. 157
- Castagne M., Fillard J.P., Bonnafe J., Gall P. Def. Semicon. / Ed. H.J.Von Bardeleben. 1986. Vol. 1. P. 371
- Fillard J.P. Rev. Phys. Appl. 1988. Vol. 23. P. 765--777
- Fillard J.P., Asgarinia M., Castagne M., Baroudi M. Jap. J. Appl. Phys. 1988. Vol. 27. N 5. P. L899--L902
- Paul R.Blaszuk. United States Patent. 3. 743. 881. 1973
- Парицкий Л.Г., Касымов Ш.С. Авторская заявка. N 1946017/18-10. 1973. N 1978020/18-10. 1973
- Агаронов Б.С., Зейналлы А.Х., Лебедева Н.Н. и др. АС. N 535451. 1978
Подсчитывается количество просмотров абстрактов ("html" на диаграммах) и полных версий статей ("pdf"). Просмотры с одинаковых IP-адресов засчитываются, если происходят с интервалом не менее 2-х часов.
Дата начала обработки статистических данных - 27 января 2016 г.
© 2024 Физико-технический институт им. А.Ф. Иоффе Российской академии наук