Журнал технической физики

Авторам

Правила оформления публикаций

Вышедшие номера

2025
- 1 2 3 4
2024
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
2023
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
2022
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
2021
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
2020
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
2019
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
2018
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
2017
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
2016
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
2015
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
2014
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
2013
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
2012
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
2011
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
2010
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
2009
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
2008
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
2007
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
2006
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
2005
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
2004
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
2003
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
2002
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
2001
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
2000
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
1999
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
1998
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
1997
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
1996
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
1995
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
1994
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
1993
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
1992
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
1991
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
1990
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
1989
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
1988
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12

Нанесение эпитаксиальных пленок многокомпонентных соединений магнетронным распылением на примере YBa₂Cu₃O_7-delta

Сахаров Л.Г.¹

¹Институт проблем машиноведения РАН, Санкт-Петербург, Россия Institute for Problems in Mechanical Engineering of the Russian Academy of Sciences, St. Petersburg, Russia

Institute for Problems in Mechanical Engineering of the Russian Academy of Sciences, St. Petersburg, Russia

Поступила в редакцию: 2 июня 1992 г.

Выставление онлайн: 19 июня 1993 г.

PDF версия

На примере моделирования переноса атомов мишени при магнетронном напылении высокотемпературного сверхпроводника Y₁ Ba₂ Cu₃ O_7-delta показана принципиальная возможность напыления многокомпонентных соединений при использовании следующих режимов: напыления из подшихтованной мишени на большом расстоянии магнетрон-подложка, внеосевого напыления и применения аэродинамического переноса при напылении при больших давлениях из стехиометрической мишени. Проанализирована зависимость качества осаждаемых пленок от термодинамических условий, в которых находится подложка при напылении и скорости нанесения на нее вещества.

Данилин Б.С. Обзоры по высокотемпературной сверхпроводимости. 1991. Вып. 1(15). С. 55--99
Selider T.I., Larson G., Helmersson U. Supercond. Sci. and Technol. 1991. Vol. 4. N 1. P. 379--395
Selider T.I., Larson G., Helmersson U. J. Appl. Phys. 1991. Vol. 69. N 1. P. 390--395
Yang Senzu, Wu Peiheng, Ji Zhemgining J. Appl. Phys. 1990. Vol. 68. N 5. P. 2308--2310
Uchiyama Tomoyuki, Suzuki Mitsumasa, Takahashi Kunii Cryog. Eng. 1990. Vol. 25. N 5. P. 46--52
Li H.C., Linker G., Ratzel F. Appl. Phys. Lett. 1988. Vol. 52. N 13. P. 1098--1100
Lee W.Y., Salem J., Lee V. Appl. Phys. Lett. 1988. Vol. 52. N 26. P. 2363--2365
Иванов А.А., Сахаров Л.Г. Проблемы механики и машиноведения. Тез. конф. молодых ученых ЛФИМАШ АН. 1989. Вып. 3. С. 13
Ерофеева Н.Т., Сахаров Л.Г. Нагревательный элемент для вакуумных установок. Л., 1991. N 215-91. 3 с
Готт Ю.В., Явлинский Ю.Н. Взаимодействие медленных частиц с веществом и диагностика плазмы. М., 1973. 129 с
Данилин Б.С. Применение низкотемпературной плазмы для нанесения тонких пленок. М., 1989. 328 с
Eom C.B., Sun J.Z., Lairson B.M. Phys. C. 1990. Vol. 171. P. 354--382
Borman R., Nolting J. Appl. Phys. Lett. 1991. Vol. 54. N 24. P. 2148--2150
Yoshimi Kubo, Yokinobu Nakabayashi, Junji Tabuchi Jap. J. Appl. Phys. 1987. Vol. 26. N 11. P. L1887--L1891
Сахаров Л.Г. Процессы кристаллизации в системах анортит--геленит и геленит--двухкальцевый силикат. Дис. Л., 1984. 20 с
Румянцев П.Ф., Сахаров Л.Г. Строение и свойства силикатных и оксидных систем. Тез. докл. Братислава, 1986. С. 89--91

Подсчитывается количество просмотров абстрактов ("html" на диаграммах) и полных версий статей ("pdf"). Просмотры с одинаковых IP-адресов засчитываются, если происходят с интервалом не менее 2-х часов.

Дата начала обработки статистических данных - 27 января 2016 г.

Учредители

Издатель