Журнал технической физики

Авторам

Правила оформления публикаций

Вышедшие номера

2025
- 1 2 3 4 5 6
2024
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
2023
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
2022
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
2021
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
2020
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
2019
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
2018
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
2017
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
2016
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
2015
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
2014
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
2013
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
2012
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
2011
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
2010
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
2009
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
2008
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
2007
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
2006
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
2005
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
2004
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
2003
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
2002
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
2001
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
2000
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
1999
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
1998
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
1997
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
1996
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
1995
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
1994
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
1993
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
1992
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
1991
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
1990
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
1989
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
1988
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12

Механизм высоковакуумного низкоэнергетического травления во фторсодержащей плазме

Яфаров Р.К.¹, Мевлют Ш.Т.¹, Терентьев С.А.¹

¹Саратовский филиал Института радиотехники и электроники

Поступила в редакцию: 27 мая 1993 г.

Выставление онлайн: 20 мая 1993 г.

PDF версия

Рассмотрены особенности действия механизмов плазменного травления в условиях пониженного давления и интенсивной низкоэнергетической ионной бомбардировки. Предложена модель травления с учетом поверхностной миграции первичных продуктов химических реакций и проведена ее экспериментальная проверка. Предсказаны и подтверждены экспериментально режимы высоковакуумного травления, предотвращающие проявление поверхностных дефектов обрабатываемого материала.

Вигдорович В.Н., Гуляев Ю.В., Яфаров Р.К. ДАН СССР. 1988. Т. 300. N 3. С. 604--606
Winters H.F., Coburn J.W. J. Vac. Sci. Technol. 1985. Vol. B3. N 5. P. 1376--1382
Petit B., Pelletier J., Pomot C. Rev. de Phys. Appliquee. 1986. Vol. 21. N 6. P. 377--384
Donnelly V.M., Flamm D.L., Dautremont-Smith W.C., Werder W.J. J. Appl.Phys. 1984. Vol. 55. N 1. P. 242--249
Фундаментальные и прикладные аспекты распыления твердых тел / Под ред. Е.С.Машковой. М.: Мир, 1989. 349 с
Кустов В.Л., Пекарчук С.Б. Электронная техника. Сер. Электроника СВЧ. 1983. Вып. 9(357). С. 52
Трепнел Б. Хемосорбция. М.: ИЛ, 1958. 326 с
Адамсон А. Физическая химия поверхности. М.: Мир, 1979. 569 с
Фундаментальные и прикладные аспекты распыления твердых тел / Под ред. Е.С.Машковой. М.: Мир, 1989. 349 с
Плазменная технология в производстве СБИС / Под ред. Е.С.Машковой. М.: Мир, 1987. 466 с
Яфаров Р.К., Терентьев С.А. Поверхность. 1991. N 5. С. 146
Моррисон Дж. Физическая химия поверхности. М.: Мир, 1986. 388 с
Гуляев Ю.В., Яфаров Р.К. Письма в ЖТФ. 1988. Т. 14. Вып. 24. С. 2211--2214

Подсчитывается количество просмотров абстрактов ("html" на диаграммах) и полных версий статей ("pdf"). Просмотры с одинаковых IP-адресов засчитываются, если происходят с интервалом не менее 2-х часов.

Дата начала обработки статистических данных - 27 января 2016 г.

Учредители

Издатель