Плазмохимическое осаждение тонких пленок в свободнолокализованном импульсном микроволновом разряде
Батанов Г.М.1, Большаков Е.Ф.1, Воронин А.Н.1, Горбунов А.А.1, Дорофеюк А.А.1, Конов В.И.1, Коссый И.А.1
1Институт общей физики Москва
Поступила в редакцию: 27 мая 1992 г.
Выставление онлайн: 20 мая 1993 г.
Описывается оригинальная схема плазмохимического реактора, основанная на возбуждении импульсно-периодического разряда пучком мощного СВЧ излучения в свободном пространстве. Предлагается физическая модель разряда, объясняющая его специфику, и указывается на ряд принципиальных преимуществ свободнолокализованного разряда по сравнению с другими вариантами, описанными в литературе. Приводятся первые экспериментальные результаты, иллюстрирующие возможности схемы осаждения.
- Осаждение из газовой фазы / Под ред. К.Пауэлла, Дж.Оксли, Дж.Блогера. М.: Атомиздат, 1970. 471 с
- Matsumoto S., Sato J. et al. J. Mater. Sci. 1982. Vol. 17. P. 3106
- Батанов Г.М., Грицинин С.И., Коссый И.А. и др. Тр. ФИАН. Т. 160. С. 174--203
- Бровкин В.Г., Быков Д.Ф., Голубев С.К. и др. ЖТФ. 1991. Т. 61. Вып. 2. С. 153--157
- Высокочастотный разряд в волновых полях. Горький, 1988. 289 с
- Экспериментальная база обьекта "Х". М., 1990
- Грицинин С.И., Дорофеюк А.А., Коссый И.А., Магунов А.Н. ТВТ. 1987. Т. 25. N 6. С. 1068--1071
- Грицинин С.И., Коссый И.А., Тарасов Н.М., Шибков В.М. ТВТ. 1987. Т. 25. N 4. С. 625--629
- Аветисов В.Г., Грицинин С.И., Ким А.В. и др. Письма в ЖЭТФ. 1990. Т. 51. Вып. 6. С. 306--309
- Ким А.В., Фрайман Г.М. Физика плазмы. 1983. Т. 9. N 3. С. 613--617
- Gritsinin S.I., Kossyi I.A., Silakov V.P. et al. Invited Papers. XVIII ICPIG. Swansea, 1987. P. 232--240
- Наканиси К. Инфракрасные спектры и строение органических соединений. М.: Мир, 1965. 216 с
Подсчитывается количество просмотров абстрактов ("html" на диаграммах) и полных версий статей ("pdf"). Просмотры с одинаковых IP-адресов засчитываются, если происходят с интервалом не менее 2-х часов.
Дата начала обработки статистических данных - 27 января 2016 г.
© 2024 Физико-технический институт им. А.Ф. Иоффе Российской академии наук