"Журнал технической физики"
Издателям
Вышедшие номера
Динамика начальной ионизации в лазерной плазме при низких плотностях газовой мишени
Белик В.П., Демидов Р.А., Калмыков С.Г., Можаров А.М., Петренко М.В., Сасин М.Э.1
1Физико-технический институт им. А.Ф. Иоффе РАН, Санкт-Петербург, Россия
Поступила в редакцию: 12 марта 2013 г.
Выставление онлайн: 19 ноября 2013 г.

В источниках коротковолнового излучения на Xe лазерной плазме коэффициент конверсии (CE) энергии лазера в излучение диапазона EUV оказывается существенно ниже теоретических ожиданий. Сделана расчетная оценка, которая показала, что одной из основных причин этого может быть длительный период начальной ионизации до момента появления высокозарядных ионов, способных испускать коротковолновые фотоны. Плазма при этом остается низкоионизованной и слабо поглощает лазерное излучение. Результаты оценки подтверждены экспериментально спектроскопическими методами и данными о степени ионизации, выведенными из измеренного поглощения лазерного излучения в плазме. В качестве способа ускорения процесса ионизации и соответственно повышения CE предлагается предионизация газовой мишени импульсом ультрафиолетового (UV) эксимерного лазера.
  1. Bakshi V.. EUV Sources for Lithography. SPIE Press, Bellingham, WA, USA, 2006
  2. Калмыков С.Г. // Письма в ЖТФ. 2009. Т. 35. Вып. 21. С. 97
  3. Schriever G., Bergmann K., Lebert R. // J. Vac. Sci. Technol. B. 1999. Vol. 17. N 5. P. 2058
  4. Diefendorff K. // Extreme Lithography (6/19/2000). <http://www.mpronline.com>
  5. Домрачева И.В., Петренко М.В., Степанова З.А., Тумакаев Г.К., Бобашев С.В. // Письма в ЖТФ. 2007. Т. 33. Вып. 22. С. 9
  6. Belik V., Kalmykov S., Petrenko M., Sasin M. // 2011 Int. Workshop on EUV and Soft X-Ray Sources, Nov. 7-10, 2011, Dublin, Ireland, Workshop Proc., S 25. <http://www.euvlitho.com/2011/S25.pdf>
  7. Демидов Р.А., Калмыков С.Г., Можаров А.М., Петренко М.В., Сасин М.Э. // Письма в ЖТФ. 2012. Т. 38. Вып. 22. С. 1
  8. Райзер Ю.П. Лазерная искра и распространение разрядов. М.: Наука, 1974
  9. Райзер Ю.П. Физика газового разряда. 3-е изд. Долгопрудный. Моск. обл.: ИД Интеллект, 2009
  10. Делоне Н.Б., Крайнов В.П. Нелинейная ионизация атомов лазерным излучением. М.: Физматлит, 2001
  11. Калмыков С.Г., Мирошников И.В., Петренко М.В., Сасин М.Э. // Письма в ЖТФ. 2011. Т. 37. Вып. 6. С. 63
  12. Гинзбург В.Л. Распространение электромагнитных волн в плазме. 2-е изд. М.: Наука, 1967
  13. Калмыков С.Г., Петренко М.В., Сасин М.Э. // Письма в ЖТФ. 2011. Т. 37. Вып. 4. С. 23
  14. Калмыков С.Г. // Письма в ЖТФ. 2008. Т. 34. Вып. 17. С. 65
  15. Левашов В.Е., Медников К.Н., Пирожков А.С., Рагозин Е.Н. // Квант. электрон. 2006. Т. 36. Вып. 6. С. 549
  16. Гарбарук А.В., Демидов Д.А., Калмыков С.Г., Сасин М.Э. // ЖТФ. 2011. Т. 81. Вып. 6. С. 20

Подсчитывается количество просмотров абстрактов ("html" на диаграммах) и полных версий статей ("pdf"). Просмотры с одинаковых IP-адресов засчитываются, если происходят с интервалом не менее 2-х часов.

Дата начала обработки статистических данных - 27 января 2016 г.