Вышедшие номера
Home » Журнал технической физики » Год 2013, выпуск 9 » Статья стр. 134
<<<>>>
Применение мягкого рентгеновского излучения для исследования сверхгладких оптических поверхностей и многослойных элементов
Барышева М.М.1, Вайнер Ю.А.1, Грибков Б.А.1, Зорина М.В.1, Пестов А.Е.1, Салащенко Н.Н.1, Чхало Н.И.1, Щербаков А.В.1
1Институт физики микроструктур Российской академии наук, Нижний Новгород, Россия
Email: chkhalo@ipmras.ru
Поступила в редакцию: 16 ноября 2012 г.
Выставление онлайн: 20 августа 2013 г.
PDF версия
Работа посвящена развитию метода диффузного рассеяния мягкого рентгеновского излучения для аттестации оптических элементов дифракционного качества и их подложек на рабочей длине волны. Предложен прибор, позволяющий производить процедуру аттестации в лабораторных условиях за счет динамического диапазона, приближающегося к синхротронным источникам. Приводятся результаты экспериментов, сопоставленные с данными альтернативных методов исследования.
  1. Dinger U., Eisert F., Lasser H. et al. // Proc. SPIE. 2000. Vol. 4146. P. 35--46
  2. Chkhalo N.I., Pestov A.E., Salashchenko N.N., Toropov M.N. Lithography / Ed. by M. Wang. INTECH, 2010. P. 71--114
  3. Барышева М.М., Пестов А.Е, Салащенко Н.Н., Торопов М.Н., Чхало Н.И. // УФН. 2012. Т. 182. N 7. С. 727--747
  4. Chason E., Mayer T.M. // Appl. Phys. Lett. 1993. Vol. 62. N 4. P. 363--365
  5. Клюенков Е.Б., Пестов А.Е., Полковников В.Н. и др. // Российские нанотехнологии. 2008. Т. 3. N 9--10. С. 116--124
  6. Зуев С.Ю., Клюенков Е.Б., Пестов А.Е. и др. // Изв. РАН. Сер. физ. 2011. Т. 75. N 1. С. 57--60
  7. Барышева М.М., Вайнер Ю.А., Грибков Б.А. и др. // Изв. РАН. Сер. физ. 2011. Т. 75. N 1. С. 71--76
  8. Soммargren G.E. // Laser Focus World. 1996. Vol. 8. P. 61--71
  9. Barysheva М.М., Gribkov B.A., Vainer Yu.A. et al. // Proc. SPIE. 2011. Vol. 8076. P. 80760M
  10. Барышева М.М., Вайнер Ю.А., Грибков Б.А. и др. // Изв. РАН. Сер. физ. 2012. Т. 76. N 2. С. 190--195
  11. Asadchikov V.E., Duparre A., Jakobs S. et al. // Appl. Opt. 1999. Vol. 38. N 4. P. 684--690
  12. Asadchikov V.E., Kozhevnikov I.V., Krivonosov Yu.S. et al. // Nucl. Instrum. Meth. A. 2004. Vol. 530. P. 575--595
  13. Якимчук И.В., Рощин Б.С., Кожевников И.В. и др. // Кристаллография. 2008. Т. 53. N 6. С. 1111--1117
  14. Барышева М.М., Грибков Б.А., Зорина М.В. и др. // Труды 16-го Международного симпозиума "Нанофизика и наноэлектроника". Нижний Новгород. 2012. Т. 2. С. 557--558
  15. Асадчиков В.Е., Виноградов А.В., Duparre A. и др. // Материалы совещания "Рентгеновская оптика". Нижний Новгород. 2001. С. 23--29
  16. Kozhevnikov I.V., Pyatakhin M.V. // J. X-ray Sci. Technol. 2000. Vol. 8. P. 253--275
  17. Барышева М.М., Вайнер Ю.А., Дроздов М.Н. и др. // Труды 16-го Международного симпозиума "Нанофизика и наноэлектроника". Нижний Новгород. 2012. Т. 2. С. 540--541
  18. Teichert C., MacKay J.F., Savage D.E. et al. // Appl. Phys. Lett. 1995. Vol. 66. N 18. P. 2346--2348
  19. Кривоносов Ю.С. Канд. дис. М., 2003
  20. Бибишкин М.С., Забродин И.Г., Зуев С.Ю. и др. // Поверхность. 2005. N 2. С. 23--27
  21. Барышева М.М., Забродин И.Г., Закалов Б.А. и др. // Матер. симпозиума "Нанофизика и наноэлектроника". Нижний Новгород. 2010. Т. 2. С. 602--603
  22. Бибишкин М.С., Забродин И.Г., Каськов И.А. и др. // Изв. РАН. Сер. физ. 2004. Т. 68. N 4. С. 560
  23. Montcalm C., Bajt S., Mirkarimi P. et al. // Proc. SPIE. 1998. Vol. 3331. P. 42
  24. Andreev S.S., Barysheva M.M., Chkhalo N.I. et al. // Nucl. Instrum. Meth. A. 2009. Vol. 603. P. 80--82
  25. Artyukov I.A., Bugayev Ye., Devizenko O.Yu. et al. // Proc. SPIE. 2005. Vol. 5919. P. 94--103
  26. Chkhalo N.I., Drozdov M.N., Gusev S.A. et al. // Proc. SPIE. 2011. Vol. 8076. P. 807 600
  27. Loyen L., Bottger T., Braun S. et al. // Proc. SPIE. 2003. Vol. 5038. P. 12--21

Подсчитывается количество просмотров абстрактов ("html" на диаграммах) и полных версий статей ("pdf"). Просмотры с одинаковых IP-адресов засчитываются, если происходят с интервалом не менее 2-х часов.

Дата начала обработки статистических данных - 27 января 2016 г.

Учредители

Издатель

© 2025 Физико-технический институт им. А.Ф. Иоффе Российской академии наук
Powered by webapplicationthemes.com - High quality HTML Theme