Вышедшие номера
Применение мягкого рентгеновского излучения для исследования сверхгладких оптических поверхностей и многослойных элементов
Барышева М.М.1, Вайнер Ю.А.1, Грибков Б.А.1, Зорина М.В.1, Пестов А.Е.1, Салащенко Н.Н.1, Чхало Н.И.1, Щербаков А.В.1
1Институт физики микроструктур Российской академии наук, Нижний Новгород, Россия
Email: chkhalo@ipmras.ru
Поступила в редакцию: 16 ноября 2012 г.
Выставление онлайн: 20 августа 2013 г.

Работа посвящена развитию метода диффузного рассеяния мягкого рентгеновского излучения для аттестации оптических элементов дифракционного качества и их подложек на рабочей длине волны. Предложен прибор, позволяющий производить процедуру аттестации в лабораторных условиях за счет динамического диапазона, приближающегося к синхротронным источникам. Приводятся результаты экспериментов, сопоставленные с данными альтернативных методов исследования.