"Журнал технической физики"
Издателям
Вышедшие номера
Об устойчивости работы сканирующего силового микроскопа с нановискером на вершине зонда
Левичев В.В., Жуков М.В., Мухин И.С.1,2, Денисюк А.И., Голубок А.О.1,3
1Санкт-Петербургский национальный исследовательский университет информационных технологий, механики и оптики (Университет ИТМО), Санкт-Петербург, Россия
2Санкт-Петербургский Академический университет --- научно-образовательный центр нанотехнологий Российской академии наук, Санкт-Петербург, Россия
3Институт аналитического приборостроения Российской академии наук, Санкт-Петербург, Россия
Email: levichev_vadim@mail.ru
Поступила в редакцию: 19 сентября 2012 г.
Выставление онлайн: 19 июня 2013 г.

Исследована работа кантилевера сканирующего зондового микроскопа с металл-углеродным вискером на вершине. Металл-углеродные вискеры, выращенные с помощью технологии осаждения материала под действием фокусированного ионного пучка в присутствии газов-прекурсоров, имели аспектное отношение alpha~10-200 и сохраняли свою форму при многократном сканировании в силовом режиме. Экспериментально продемонстрировано преимущество зондов с вискерами при исследовании поверхности с вертикальными стенками и узкими каналами. При больших значениях alpha обнаружена неустойчивость в работе сканирующего зондового микроскопа, обусловленная взаимодействием боковой поверхности вискера с образцом. Показано, что для устойчивой работы при больших аспектных отношениях необходимо ориентировать ось вискера по нормали к поверхности образца.
  1. Branner S.S. // Science. 1958. Vol. 128. P. 9--575
  2. Kucukyildirim B.O., Akdogan Eker A., Eker B. // International Jounal of Arts and Sciences. 2009. Vol. 3. P. 18--26
  3. Евстрапов А.А., Мухин И.С., Кухтевич И.В., Букатин А.С. // Письма в ЖТФ. 2011. Т. 37. Вып. 20. С. 32--40
  4. van Dorp W.F., Hagen C.W. // J. Appl. Phys. 2008. Vol. 104. P. 081 301--081 342
  5. Мухин И.С., Мухин М.С., Феклистов А.В., Голубок А.О. // Научное приборостроение. 2011. Т. 21. N 3. С. 23--29
  6. Старовойтов Э.И. Сопротивление материалов. М.: Физматлит, 2008. С. 384

Подсчитывается количество просмотров абстрактов ("html" на диаграммах) и полных версий статей ("pdf"). Просмотры с одинаковых IP-адресов засчитываются, если происходят с интервалом не менее 2-х часов.

Дата начала обработки статистических данных - 27 января 2016 г.