Вышедшие номера
Ионно-плазменная обработка монокристаллов Cd1-xZnxTe (x~0.04) и оптическое просветление алмазоподобными углеродными пленками
Клюй Н.И.1, Лозинский В.Б.1, Лукьянов А.Н.1, Мороженко В.А.1, Савкина Р.К.1, Сизов Ф.Ф.1, Смирнов А.Б.1, Дериглазов В.А.1
1Институт физики полупроводников им. В.Е. Лашкарева Национальной академии наук Украины, Киев, Украина
Email: alex@isp.kiev.ua
Поступила в редакцию: 7 июля 2011 г.
Выставление онлайн: 20 июля 2012 г.

Изучено влияние ионно-плазменной обработки монокристаллов Cd1-xZnxTe (x~0.04), которая проводилась перед нанесением просветляющего покрытия - алмазоподобной углеродной пленки a-C : H : N, на оптические свойства получаемой структуры. Обработка проводилась в плазме аргона, азота или водорода. Контроль оптических свойств системы a-C : H : N/Cd1-xZnxTe показал, что наиболее эффективной, с точки зрения повышения пропускания структуры, является обработка в плазме аргона. Предложена модель оптической системы, учитывающая формирование переходных слоев после плазменной обработки и влияние типа ионов на их характеристики. Проведен анализ спектров поглощения системы a-C : H : N/Cd1-xZnxTe, позволивший установить присутствие полос, соответствующих валентным и деформационным колебаниям C-H-связей, а также C-C- и C=O-связям, наличие которых необходимо учитывать при конструировании и синтезе изучаемых оптических покрытий.