Штейнман Э.А.1, Вдовин В.И.2, Изотов А.Н.1, Пархоменко Ю.Н.3, Борун А.Ф.3
1Институт физики твердого тела Российской академии наук, Черноголовка, Московская обл., Россия
2Институт химических проблем микроэлектроники, Москва, Россия
3Московский институт стали и сплавов, Москва, Россия
