"Физика твердого тела"

Издателям

Статистика

Авторам

Правила оформления публикаций

Вышедшие номера

2019
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10
2018
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
2017
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
2016
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
2015
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
2014
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
2013
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
2012
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
2011
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
2010
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
2009
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
2008
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
2007
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
2006
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
2005
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
2004
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
2003
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
2002
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
2001
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
2000
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
1999
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
1998
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
1997
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
1996
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
1995
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
1994
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
1993
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
1992
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
1991
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
1990
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
1989
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
1988
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12

Фотолюминесценция и структурные дефекты слоев кремния, имплантированных ионами железа

Штейнман Э.А.¹, Вдовин В.И.², Изотов А.Н.¹, Пархоменко Ю.Н.³, Борун А.Ф.³

¹Институт физики твердого тела Российской академии наук, Черноголовка, Московская обл., Россия Institute of Solid State Physics, Russian Academy of Sciences, Chernogolovka, Russia

Institute of Solid State Physics, Russian Academy of Sciences, Chernogolovka, Russia

²Институт химических проблем микроэлектроники, Москва, Россия
³Московский институт стали и сплавов, Москва, Россия

Выставление онлайн: 20 декабря 2003 г.

PDF версия

Абстракт
Литература
Статистика просмотров

Измерены спектры фотолюминесценции (ФЛ) образцов кремния, имплантированных ионами железа ⁵⁶Fe⁺ с энергией 170 keV и дозами 1· 10¹⁶, (2-4)· 10¹⁷ cm^-2 и отожженных при температурах 800, 900 и 1000^oC. На каждом этапе обработки образцов выполнены структурные исследования методом просвечивающей электронной микроскопии. Обнаружена четкая закономерность в образовании фаз и морфологии кристаллических образований дисилицида железа в зависимости от дозы ионов железа и температуры отжига. Сопоставление данных для зависимостей интенсивности ФЛ и ее спектрального распределения от температуры измерения, температуры отжига и морфологии фазы FeSi₂ позволило сделать заключение о дислокационной природе ФЛ. Работа выполнена при частичной поддержке ИНТАС (грант N 2001-0194).

M.G. Grimaldi, C. Bongiorno, C. Spinella, E. Grilli, L. Martinelli, M. Gemelli, D.B. Migas, L. Miglio, M. Fanciulli. Phys. Rev. B 66, 085 319 (2002)

H. Lange. Phys. Stat. Sol. (b) 201, 3 (1997)

G.G. Gumarov, V. Yu. Petukhov, V.A. Shustov, I.B. Khaibullin. Nucl. Instr. Meth. Phys. Res. B 127/128, 321 (1997)

L. Martinelli, E. Grilli, D.B. Migas, L. Miglio, F. Marabelli, C. Sosi, M. Geddo, M.G. Grimaldi, C. Spinella. Phys. Rev. B 66, 085 320 (2002)

В.И. Вдовин, А.К. Гутаковский, Ю.А. Николаев, М.Г. Мильвидский. Изв. РАН. Сер. физ. 65, 2, 281 (2001)

E.A. Steinman, H.G. Grimmeiss. Semicond. Sci. Technol. 13, 124 (1998)

A. Cavallini, M. Vandini, F. Corticelli, A. Arisini, A. Armigliato. Inst. Phys. Conf. Ser. 134, 3, 115 (1993)

V. Kveder, M. Kittler, W. Schroter. Phys. Rev. B 63, 115 208 (2001)

Подсчитывается количество просмотров абстрактов ("html" на диаграммах) и полных версий статей ("pdf"). Просмотры с одинаковых IP-адресов засчитываются, если происходят с интервалом не менее 2-х часов.

Дата начала обработки статистических данных - 27 января 2016 г.

Учредители

Издатель