Издателям
Вышедшие номера
Структурные исследования тонких слоев кремния, многократно имплантированных ионами углерода
Нусупов К.Х.1, Бейсенханов Н.Б.1, Валитова И.В.1, Дмитриева Е.А.1, Жумагалиулы Д.1, Шиленко Е.А.1
1Физико-технический институт Министерства образования и науки Казахстана, Алма-Aта, Казахстан
Email: beisen@sci.kz
Поступила в редакцию: 27 июня 2005 г.
Выставление онлайн: 19 июня 2006 г.

Методами электронной микроскопии, рентгеновской дифракции, Оже-электронной и ИК-спектроскопии исследуются состав и структура однородных слоев SiC1.4 и SiC0.12, полученных многократной имплантацией в кремний ионов углерода с энергиями 40, 20, 10, 5 и 3 keV. На основе температурных зависимостей (200-1400oC) параметров пика ИК-пропускания показано, что рост количества атомов углерода, находящихся в связанном состоянии с атомами кремния и участвующих в поглощении, обусловлен процессами формирования и распада гексагональных, близких к тетраэдрической и кратных связей Si--C, а также распада прочных оптически неактивных углеродных кластеров. Высокая температура кристаллизации SiC (1200oC) в слое SiC1.4 объясняется наличием стабильных кратных связей Si--C и прочных кластеров углерода. Показано наличие прочных углеродных кластеров в имплантированном слое SiC0.12 и влияние их распада на формирование тетраэдрических связей при температурах 1200-1400oC. PACS: 68.35.Nq, 61.72.Tt
  1. E. Theodossiu, H. Baumann, E.K. Polychroniadis, K. Bethge. Nucl. Instr. Meth. B 161-- 163, 941 (2000)
  2. H. Yan, B. Wang, X.M. Song, L.W. Tan, S.J. Zhang, G.H. Chen, S.P. Wong, R.W.M. Kwok, W.M. Lau. Diamond Related Mater. 9, 1795 (2000)
  3. K.Kh. Nussupov, N.B. Beisenkhanov, J. Tokbakov. Nucl. Instr. Meth. B 103, 161 (1995)
  4. K.Kh. Nussupov, V.O. Sigle, N.B. Вeisenkhanov. Nucl. Instr. Meth. B 82, 69 (1993)
  5. T. Kimura, Sh. Kagiyama, Sh. Yugo. Thin Solid Films 122, 165 (1984)
  6. J.A. Borders, S.T. Picraux, W. Beezhold. Appl. Lett. 18, 11, 509 (1971)
  7. Е.К. Баранова, К.Д. Демаков, К.В. Старинин, Л.Н. Стрельцов, И.Б. Хайбуллин. ДАН СССР 200, 869 (1971)
  8. К.Х. Нусупов, Н.Б. Бейсенханов, С.К. Жариков. Изв. Министерства науки--НАН РК. 2, 88 (2002)
  9. К.Х. Нусупов, Н.Б. Бейсенханов, С.К. Жариков. Изв. Министерства науки--НАН РК. 6, 68 (2002)
  10. T. Kimura, Sh. Kagiyama, Sh. Yugo. Thin Solid Films 94, 191 (1982)
  11. P. Durupt, B. Canur, J.P. Gauthier, J.A. Roger, J. Pivot. Mater. Res. Bull. 15, 1557 (1980)
  12. Z. Kantor, E. Fogarassy, A. Grob, J.J. Grob, D. Muller, B. Prevot, R. Stuck. Appl. Surf. Sci. 109/110, 305 (1997)
  13. L. Calcagno, G. Compagnini, G. Foti, M.G. Grimaldi, P. Musumeci. Nucl. Instr. Meth. B 120, 121 (1996)
  14. S.P. Wong, Dihu Chen, L.C. Ho, H. Yan, R.W.M. Kwok. Nucl. Instr. Meth. B 140, 70 (1998)
  15. К.Х. Нусупов. Автореф. докт. дис. ФИАН, М. (1996). 43 с
  16. I.P. Akimchenko, K.V. Kisseleva, V.V. Krasnopevtsev, Yu.V. Milyutin, A.G. Touryansky, V.S. Vavilov. Rad. Eff. 33, 75 (1977)
  17. Dihu Chen, W.Y. Cheung, S.P. Wong. Nucl. Instr. Meth. B 148, 589 (1999)
  18. Dihu Chen, S.P. Wong, Shenghong Yang, D. Mo. Thin Solid Films 426, 1 (2003)
  19. I.P. Akimchenko, K.V. Kisseleva, V.V. Krasnopevtsev, A.G. Touryansky, V.S. Vavilov. Rad. Eff. 48, 7 (1980)
  20. А.Ф. Буренков, Ф.Ф. Комаров, М.А. Кумахов, М.М. Темкин. Пространственные распределения энергии, выделенной в каскаде атомных столкновений в твердых телах. Энергоиздат, М. (1985). 245 с
  21. J.F. Gibbons, W.S. Johnson, S.W. Hylroic. Projected range statistics. 2nd ed. Dowden, Stroudsburg, PA (1975). Pt 1. P. 93
  22. А. Тейлор. Рентгеновская металлография. Металлургия, М. (1965). 663 с
  23. L. Pauling, P. Pauling. Chemistry. W.H. Freeman and Company, San Francisco (1975). [Л. Полинг, П. Полинг. Химия. Мир, М. (1978). С. 683]
  24. G. Raabe, J. Miche. Chem. Rev. 85, 419 (1985)
  25. К.Х. Нусупов, Н.Б. Бейсенханов, С.К. Жариков. Изв. Министерства науки--НАН РК. 2, 13 (2003)
  26. К.Х. Нусупов, Н.Б. Бейсенханов, С.К. Жариков. Изв. Министерства науки--НАН РК. 6, 73 (2003)

Подсчитывается количество просмотров абстрактов ("html" на диаграммах) и полных версий статей ("pdf"). Просмотры с одинаковых IP-адресов засчитываются, если происходят с интервалом не менее 2-х часов.

Дата начала обработки статистических данных - 27 января 2016 г.