Вышедшие номера
Чувствительный элемент датчика давления на основе пленок Cr и Cu или Fe
Пазуха И.М.1, Проценко И.Е.1
1Сумский государственный университет, Сумы, Украина
Email: protsenko@aph.sumdu.edu.ua
Поступила в редакцию: 30 июня 2009 г.
Выставление онлайн: 19 марта 2010 г.

Представлен чувствительный элемент - датчик давления, который формируется на основе пленочных систем Fe/Cr и Cu/Cr. Проанализированы вопрос о взаимной диффузии и фазообразовании, исследована проблема стабильности интерфейсов.