"Журнал технической физики"
Издателям
Вышедшие номера
Влияние внутренних деформационных полей на управляемость наноразмерных сегнетоэлектрических пленок в планарном конденсаторе
Мухортов В.М., Головко Ю.И., Маматов А.А., Жигалина О.М., Кускова А.Н., Чувилин А.Л.1
1University of Ulm, Germany
Email: muhortov@rambler.ru
Поступила в редакцию: 8 июля 2009 г.
Выставление онлайн: 17 февраля 2010 г.

Рентгенодифракционными методами и просвечивающей электронной спектроскопией высокого разрешения исследованы наноразмерные сегнетоэлектрические гетероэпитаксиальные пленки Ba0.8Sr0.2TiO3, выращенные по слоевому механизму роста на подложках (100) MgO. Установлено, что при изменении толщины пленок релаксация напряжений происходит посредством образования дислокаций нсоответствия на границе раздела между пленкой и подложкой. Существует критическая толщина (~40 nm) пленок, ниже которой в пленках имеют место напряжения растяжения, а выше --- напряжения сжатия. Приведены примеры влияния напряжений на диэлектрические характеристики пленок.
  1. Kozyrev A., Osadchy V., Pavlov A., and Sengupta L. // Microwave Symposium Digest. 2000 IEEE MTT-S Int. 2000. Vol. 3. P. 1355-1358
  2. Ryu H.C., Moon S.E., Kim Y.T., Kwak M.H., Lee S.J., Kang K.Y., Park S.O. // J. Korean Phys. Soc. 2006. Vol. 48. N 6. P. 1637-1641
  3. Acikel B., Taylor T.R., Hansen P.J., Speck J.S., and York R.A. // IEEE Microwave and wireless components Letters. 2002. Vol. 12. N 7. P. 237-239
  4. Smolensky G.A. Ferroelectrics and Related Materials. N Y: Gordon and Breach, 1985. P. 512
  5. Bellotti J.A., Akdogan E.K., Safari A., Chang W., and Kirchoefer S.W. // Integr. Ferroelectr. 2002. Vol. 49. P. 113-118
  6. Kim W.J., Wu H.D., Chang W., Qadri S.B., Pond J.M., Kirchoefer S.W., Chrisey D.B., and Horwitz J.S. // J. Appl. Phys. 2000. Vol. 88. P. 5448-5452
  7. Chang W., Kirchoefer S.W., Pond J.M., Bellotti J.A., Qadri S.B., Haeni J.H., and Schlom D.G. // J. Appl. Phys. 2004. Vol. 96. P. 6629-6632
  8. Головко Ю.И., Мухортов В.М., Маматов А.А. // Вестн. Южного научного центра РАН. 2008. Т. 4. Вып. 2. С. 11-17
  9. Мухортов В.М., Маматов А.А., Зеленчук П.А., Головко Ю.И., Бирюков С.В., Масычев С.И. // Нанотехника. 2007. Т. 3. Вып. 11. С. 59-72
  10. Мухортов В.М., Головко Ю.И., Колесников В.В., Бирюков В.В., Маматов А.А., Юзюк Ю.И. // ЖТФ. 2007. Т. 77. Вып. 10. С. 103-108
  11. Мухортов В.М., Юзюк Ю.И. Гетероструктуры на основе наноразмерных сегнетоэлектрических пленок: получение, свойства и применение. Ростов-на-Дону: Изд-во ЮНЦ РАН, 2008. С. 224
  12. Гутаковский А.К., Чувилин А.Л., Song Se Ahn // Изв. РАН. Сер. физ. 2007. Т. 71. Вып. 10. С. 1464-1470

Подсчитывается количество просмотров абстрактов ("html" на диаграммах) и полных версий статей ("pdf"). Просмотры с одинаковых IP-адресов засчитываются, если происходят с интервалом не менее 2-х часов.

Дата начала обработки статистических данных - 27 января 2016 г.