Исследование оптических свойств системы полиимидная пленка-стекло
Баковец В.В., Аюпов Б.М., Данилович В.С., Максимовский Е.А., Федоринин В.Н.1
1Новосибирский филиал Института физики полупроводников СО РАН, Новосибирск, Россия
Поступила в редакцию: 8 декабря 2008 г.
Выставление онлайн: 19 ноября 2009 г.
Методом монохроматической нулевой эллипсометрии при использовании многослойных оптических моделей системы органическая пленка-стеклянная подложка исследованы процессы проникновения паров воды в воздушную прослойку между полиимидной пленкой и подложкой и зарегистрированы изменения оптических параметров этой системы. На основании анализа электронно-микроскопических изображений поверхностей подложки и пленки предложены модели проникновения паров воды в эту прослойку. PACS: 82.35.Gh, 78.68.+m, 61.43.Fs
- Федоринин В.Н. // Нано- и микросистемная техника. 2005. N 1. С. 11--13
- Криксунов Л.З. Справочник по основам инфракрасной техники. М.: Сов. радио, 1978
- Справочник химика. Т. 5. Л.--М.: Химия, 1966
- Ayupov B.M. // Optik. 1998. Bd 109. N 4. S. 145--149
- Ржанов А.В., Свиташев К.К., Семененко А.И., Семененко Л.В., Соколов В.К. Основы эллипсометрии. Новосибирск: Наука, 1970
- Байкова Л.Г., Поздняков О.Ф., Пух В.П., Регель В.Р., Редков Б.П. // Изв. АН СССР. Неорганические материалы. 1975. Т. 11. N 1. С. 144--149
- Елхин П.М., Лисицын Ю.В., Поздняков О.Ф., Юдин В.В. // ФХС. 1986. Т. 12. N 5. С. 611--614
- Ayupov B.M., Gritsenko V.A., Wong Hei, Kim C.W. // J. Electrochem. Soc. 2006. Vol. 153. N 12. P. F277--F282
Подсчитывается количество просмотров абстрактов ("html" на диаграммах) и полных версий статей ("pdf"). Просмотры с одинаковых IP-адресов засчитываются, если происходят с интервалом не менее 2-х часов.
Дата начала обработки статистических данных - 27 января 2016 г.
© 2024 Физико-технический институт им. А.Ф. Иоффе Российской академии наук