"Журнал технической физики"
Издателям
Вышедшие номера
О возможности контроля роста тонких пленок методом угловой рефлектометрии в области угла Брюстера
Зинченко С.П.1, Ковтун А.П.1, Толмачев Г.Н.1
1Южный научный центр РАН, Ростов-на-Дону, Россия
Email: tres-3@mail.ru
Поступила в редакцию: 14 мая 2008 г.
Выставление онлайн: 20 октября 2009 г.

Для анализа динамики формирования слоевых структур на прозрачных подложках использовали метод угловой рефлектометрии, выгодно отличающийся высокой чувствительностью к изменению параметров пленочных структур начиная с первой стадии ее формирования. Метод основан на использовании угловой зависимости интенсивности отраженного сигнала в зоне угла Брюстера и практически не зависит от состояния технических средств измерений. Представлены результаты исследований тонких пленок мультиферроика на корундовой изотропной кристаллической подложке (скол 001). Пленки на подложке Al2O3 (001) с различным временем напыления (5-600 s) были получены осаждением продуктов распыления мишени Bi0.95Nd0.05FeO3 в высокочастотном тлеющем разряде в атмосфере кислорода. PACS: 78.20.-e
  1. Кизель В.А. Отражение света. М.: Наука, 1973. 352 с
  2. Громов В.К. Введение в эллипсометрию. Л.: Изд-во ЛТУ, 1986. 192 с
  3. Ковтун А.Н., Толмачев Г.Н., Зинченко С.П., Мухортов В.М. // Тр. ЮНЦ РАН. 2007. Т. 2. С. 265-287
  4. Мухортов В.М., Головко Ю.И., Мамотов А.А., Толмачев Г.Н., Бриюков С.В., Масычев С.И. // Тр. ЮНЦ РАН. 2007. Т. 2. С. 224-265
  5. Wang J., Zheng H., Nagarajan V. et al. // Science. 2003. Vol. 299. P. 1719
  6. Eerenstein W. et al. // Science. 2005. Vol. 307. P. 1203a
  7. Bea H., Bibes M., Barthelemy A. et al. // Appl. Phys. Lett. 2005. Vol. 87. P. 072 508
  8. Bai F., Wang J., Wuttig M., Li J.F., Wang N., Pyatakov A., Zvezdin A.K., Cross L.E., Viehland D. // Appl. Phys. Lett. 2005. Vol. 86. P. 032 511
  9. Шэрвуд П.М.А. // Анализ поверхности методами Оже- и рентгеновской фотоэлектронной спектроскопии. М.: Мир, 1987. 497 с

Подсчитывается количество просмотров абстрактов ("html" на диаграммах) и полных версий статей ("pdf"). Просмотры с одинаковых IP-адресов засчитываются, если происходят с интервалом не менее 2-х часов.

Дата начала обработки статистических данных - 27 января 2016 г.