Усовершенствованная "статистическая" модель образования вторичных ионов
Кудрявцев Ю.1, Азомоза Р.1
1Отделение твердотельной электроники, Центр исследований и передового обучения Национального политехнического института, Мехико, Мексика
Email: yuriyk@cinvestav.mx
Поступила в редакцию: 18 августа 2008 г.
Выставление онлайн: 20 октября 2009 г.
Рассмотрена модель образования вторичных ионов при распылении мишени ионным пучком. В основу модели положена так называемая "статистическая модель" образования вторичных ионов на некотором критическом расстоянии от поверхности, предложенная ранее. Введенное нами в предыдущих работах понятие динамической температуры для каскада столкновений, инициированных первичным ионом, а также новое рассмотрение взаимодействия образовавшегося иона с поверхностным зарядом противоположного знака позволило нам получить аналитическое выражение для вероятности ионообразования. Сравнение расчетных данных с экспериментальными значениями показывает хорошее соответствие между ними, что свидетельствует в пользу предложенной нами модели. PACS: 34.50.Bw, 79.20.Ap, 79.20.Rf, 82.80.Ms
- Добрецов Л.Н. // Тр. ФТИ АН УзССР. 1950. Т. 3. С. 39
- Sigmund P. Sputtering by particle bombardment I / Ed. by R. Behrisch. Berlin: Springer-Verlag, 1981. P. 35
- Thompson M.W. // Philos. Mag. 1968. Vol. 18. P. 377
- Kudriavtsev Yu., Asomoza R. // Nucl. Instr. Meth. B. 2008 (in press)
- Gomer R. // Solid State Physics. 1975. Vol. 30. P. 93--225
- Kudriavtsev Y., Villegas A., Gallardo S., Ramirez G., Asomoza R. // Appl. Surf. Sci. 2008. Vol. 254. N 13. P. 3801--3807
- Kudriavtsev Y., Villegas A., Gallardo S., Asomoza R. // Appl. Surf. Sci. 2008. Vol. 254. N 7. P. 2059--2066
- Wilson R.G., Stevie F.A., Magee C.W. Secondary Ion Mass Spectrometry. A. practical handbook for depth profiling and bulk impurity analysis. NY: Wiley, 1989. 384 p.
Подсчитывается количество просмотров абстрактов ("html" на диаграммах) и полных версий статей ("pdf"). Просмотры с одинаковых IP-адресов засчитываются, если происходят с интервалом не менее 2-х часов.
Дата начала обработки статистических данных - 27 января 2016 г.
© 2024 Физико-технический институт им. А.Ф. Иоффе Российской академии наук