Вышедшие номера
Анизотропный пьезоэффект в микроэлектромеханических системах на основе эпитаксиальных гетероструктур Al0.5Ga0.5As/AlAs
Вопилкин Е.А.1, Шашкин В.И.1, Дроздов Ю.Н.1, Данильцев В.М.1, Климов А.Ю.1, Рогов В.В.1, Шулешова И.Ю.1
1Институт физики микроструктур Российской академии наук, Нижний Новгород, Россия
Email: vopilkin@ipm.sci-nnov.ru
Поступила в редакцию: 1 октября 2008 г.
Выставление онлайн: 19 сентября 2009 г.

Изготовлена микроэлектромеханическая система (МЭМС), представляющая собой консольно закрепленную микробалку сечением несколько квадратных микрометров. Система создана из эпитаксиальных слоев AlGaAs/GaAs на поверхности GaAs(001) методом селективного химического вытравливания из-под балки слоя AlAs. Исследованы две микроконсоли, расположенные на одной пластине GaAs(001) и направленные по ортогональным диагональным осям [110] и [110]. С помощью оптической интерферометрии белого света исследованы статические и динамические характеристики систем. В статическом режиме проведены измерения отклонения балок в зависимости от приложенного напряжения. Прямым доказательством работы такого микродвигателя на основе пьезоэффекта служит взаимно противоположное смещение ортогональных микроконсолей при подаче одинакового напряжения. Рассчитанные параметры МЭМС -- чувствительность и собственная частота --- достаточно хорошо совпадают с измеренными значениями. PACS: 77.65.-j, 85.85.+j
  1. Masmanidis S.C., Karabalin R.B., De Vlaminsk I., Borghs G., Freeman M.R., Roukes M.L. // Science. 2007. Vol. 317. P. 780--783
  2. Ongkodjodjo A., Eng Hock Tay F., Akkipeddi R. // MEMS. 2005. Vol. 14. N 3. P. 610--618
  3. Kunar P., Li L., Calhoun L., Boudreaux P., DeVoe D. // Sensor. Actuat. A. Phys. 2004. Vol. 115. P. 96--103
  4. Vopilkin E.A., Shashkin V.I., Drozdov Y.N., Daniltsev V.M., Gusev S.A., Shuleshova I.Yu. // J. Micromech. Microeng. 2008. Vol. 18. N 9. P. 095 006
  5. Abadal G. et al. // Nanotechnology. 2001. Vol. 12. P. 100--104
  6. Най Дж. Физические свойства кристаллов. Пер. с англ. М.: Мир, 1967. 386 с
  7. Adachi S. // J. Appl. Phys. 1985. Vol. 58. N 3. P. R1--R30
  8. Hjort K., Soderkvist J., Schweitz J.A. // J. Mecromech. Microeng. 1994. Vol. 4. P. 1--13
  9. Madelung O. Semiconductors: Data Handbook. 3rd ed. NY: Springer--Verlag, 2003. 691 p
  10. Тхорик Ю.А., Хазан Л.С. Пластическая деформация и дислокации несоответствия в гетероэпитаксиальных системах. Киев: Наук. думка, 1983. 304 с
  11. Ландау Л.Д., Лифшиц Е.М. Теория упругости. М.: Наука, 1965. 2004 с
  12. Brantley W.A. // J. Appl. Phys. 1973. Vol. 44. N 1. P. 534--535

Подсчитывается количество просмотров абстрактов ("html" на диаграммах) и полных версий статей ("pdf"). Просмотры с одинаковых IP-адресов засчитываются, если происходят с интервалом не менее 2-х часов.

Дата начала обработки статистических данных - 27 января 2016 г.