Исследована возможность использования плазменного источника электронов (ПИЭЛ) с рязрядом в скрещенных Ex H полях для компенсации ионного пучка ионного источника на основе торцевого холловского ускорителя (ТХУ). Используемый в качестве нейтрализатора ПИЭЛ располагался в непосредственной близости от области генерации и ускорения ионов ТХУ под углом 90^o к оси источника. Установлены зависимости разрядных и эмиссионных характеристик ТХУ при работе с накальным нейтрализатором и плазменным источником электронов. Установлено, что максимальный ток разряда ионного источника, при котором соблюадалось условие скомпенсированности разряда ТХУ, достигал 3.8 A при работе с ПИЭЛ и 4 A при работе с накальным компенсатором. Установлено, что максимальный ток разряда ионного источника показывает сильную зависимость от потока рабочего газа в ТХУ при небольших расходах газа (до 10 ml/min); далее максимальный ток разряда ТХУ зависит только от эмиссионной способности ПИЭЛ. Исследования эмиссионных характеристик ТХУ с накальным и плазменным нейтрализатором показали, что ток ионного пучка и профиль распределения плотности ионного тока не зависят от типа источника электронов, и плотность ионного тока достигает 0.2 mA/cm² на расстоянии 25 cm от анода ТХУ. На основе анализа работы ТХУ с различными источниками электронов рассмотрен баланс токов системы ионный источник-источник электронов. Сделан вывод, что для работы ионного источника в режиме скомпенсированности разряда ток нейтрализации должен быть равен или больше тока разряда ионного источника. Использование ПИЭЛ для компенсации ионного пучка торцевого холловского ускорителя продемонстрировало высокую эффективность в процессах ионно-асистированного нанесения тонких пленок с использованием реактивных газов (O₂, N₂). Применение ПИЭЛ позволило на порядок повысить ресурс работы системы ионно-ассистированного нанесения, который составил не менее 60 h при использовании Ti-катода и ограничивался временем до замены распыленной катодной вставки. PACS: 52.59.Bi, 29.27.Eg

Подсчитывается количество просмотров абстрактов ("html" на диаграммах) и полных версий статей ("pdf"). Просмотры с одинаковых IP-адресов засчитываются, если происходят с интервалом не менее 2-х часов.

Дата начала обработки статистических данных - 27 января 2016 г.