Вышедшие номера
Home » Журнал технической физики » Год 2009, выпуск 8 » Статья стр. 124
<<<>>>
Взаимодействие атомов железа с поверхностью кремния, покрытого слоем естественного окисла
Гомоюнова М.В.1, Пронин И.И.1, Петров В.Н.1, Титков А.Н.1
1Физико-технический институт им. А.Ф. Иоффе РАН, Санкт-Петербург, Россия
Email: Marina.Gomoyunova@mail.ioffe.ru
Поступила в редакцию: 12 декабря 2008 г.
Выставление онлайн: 20 июля 2009 г.
PDF версия
Методом фотоэлектронной спектроскопии высокого разрешения с использованием синхротронного излучения, а также методом атомно-силовой микроскопии изучен процесс твердофазной эпитаксии силицида железа на поверхности Si(111), покрытой слоем естественного окисла. Доза напыления железа изменялась в диапазоне до 1 nm, а температура отжига - до 500oC. Показано, что при комнатной температуре слой естественного окисла непроницаем для атомов Fe, и на поверхности образца растет пленка железа. Повышение температуры до ~100oC приводит к изменению морфологии пленки, увеличивая ее несплошность, а затем (при ~250oC) к взаимной диффузии атомов Fe и Si сквозь окисный слой и их твердофазной реакции. Результатом этого процесса является формирование стабильного моносилицида железа varepsilon-FeSi. PACS: 68.37.-d, 79.60.-i
  1. Prabhakaran K., Shafi K.V.P.M., Ulman A. et al. // Surf. Sci. 2002. Vol. 506. P. L250--L254
  2. Prabhakaran K., Watanabe Y., Nath K.G. et al. // Surf. Sci. 2003. Vol. 545. P. 191--198
  3. Saito T., Yamamoto H., Sasase M. et al. // Thin Solid Films. 2002. Vol. 415. P. 138--142
  4. Garnier M.G., de los Arcos T., Boundaden J. et al. // Surf. Sci. 2003. Vol. 536. P. 130--138
  5. Orlowski B.A., Kowalski B.J., Fronc K. et al. // J. Alloys and Compounds. 2004. Vol. 362. P. 202--205
  6. Ruhrnschopf K., Borgmann D., Wedler G. // Surf. Sci. 1997. Vol. 374. P. 269--276
  7. Гомоюнова М.В., Малыгин Д.Е., Пронин И.И. // ЖТФ. 2006. Т. 76. С. 136--139
  8. Ворончихин А.С., Гомоюнова М.В., Малыгин Д.Е. и др. // ЖТФ. 2007. Т. 77. С. 55--60
  9. Tung R.T. // Appl. Phys. Lett. 1996. Vol. 68. N 24. P. 3461--3463
  10. Tung R.T. // Jpn. J. Appl. Phys. 1997. Vol. 36. N 3B. P. 1650--1654
  11. Hayashi Y., Yoshinaga M., Ikeda H. et al. // Surf. Sci. 1999. Vol. 438. P. 116--122
  12. Takahashi F., Irie T., Ohta T. et al. // Appl. Surf. Sci. 2001. Vol. 169--170. P. 315--319
  13. Гомоюнова М.В., Пронин И.И., Галль Н.Р. // Письма в ЖТФ. 2004. Т. 30. Вып. 20. С. 17--24
  14. Гомоюнова М.В., Пронин И.И., Малыгин Д.Е. и др. // ФТТ. 2005. Т. 47. С. 1901--1906
  15. Gomoyunova M.V., Pronin I.I., Malygin D.E. et al. // Surf. Sci. 2006. Vol. 600. P. 2449--2456
  16. Himpsel F.J., McFeely F.R., Taleb-Ibrahimi A. et al. // Phys. Rev. B. 1988. Vol. 38. P. 6084--6096
  17. Egert B., Panzner G. // Phys. Rev. B. 1984. Vol. 29. P. 2091-2101
  18. Gomoyunova M.V., Malygin D.E., Pronin I.I. et al. // Sutf. Sci. Vol. 2007. Vol. 601. P. 5069--5079
  19. Гомоюнова М.В., Малыгин Д.Е., Пронин И.И. // ФТТ. 2008. Т. 50. С. 1518--1523
  20. Sirotti F., De Santis M., Rossi G. // Phys. Rev. B. 1993. Vol. 48. P. 8299--8306
  21. Hajjar S., Garreau G., Pelletier S. et al. // Surf. Sci. V. 2003. Vol. 532--533. P. 940--9455
  22. Bertoncini P., Wetzel P., Berling D. et al. // Phys. Rev. B. 1999. Vol. 60. P. 1123--1130
  23. Hong S., Wetsel P., Bolmont O., Gewinner G. et al. // Appl. Phys. 1995. Vol. 78. P. 5404--5411
  24. Miquita D.R., Pamago R., Rodrigues W.N. et al. // Thin Solid Films. 2005. Vol. 493. P. 30--34
  25. Alvarez J., Hinarejes J.J., Michel F.G. et al. // Phys. Rev. B. 1992. Vol. 45. P. 14 041--14 051
  26. Tranh L., Chevrier J., Derrien J. // Phys. Rev. B. 1992. Vol. 46. P. 15 946--15 954
  27. Chrost J., Hinarejes J.J., Segovia P. et al. // Surf. Sci. 1997. Vol. 371. P. 297--306

Подсчитывается количество просмотров абстрактов ("html" на диаграммах) и полных версий статей ("pdf"). Просмотры с одинаковых IP-адресов засчитываются, если происходят с интервалом не менее 2-х часов.

Дата начала обработки статистических данных - 27 января 2016 г.

Учредители

Издатель

© 2024 Физико-технический институт им. А.Ф. Иоффе Российской академии наук
Powered by webapplicationthemes.com - High quality HTML Theme