"Журнал технической физики"
Издателям
Вышедшие номера
Исследование плазмодинамических и оптических характеристик цилиндрического газового разряда магнетронного типа в условиях синтеза пленок нитрида титана
Блонский И.В., Гончаров А.А., Демчишин А.В., Евсюков А.Н., Костин Е.Г., Сальников В.А., Терещенко А.Г., Ткаченко Л.Н.1
1Институт физики Национальной академии наук Украины, Киев, Украина
Поступила в редакцию: 4 марта 2008 г.
Выставление онлайн: 19 июня 2009 г.

Приведены результаты комплексного экспериментального исследования плазмодинамических и оптических характеристик цилиндрического газового разряда магнетронного типа в условиях непрерывного компьютерного контроля всего спектра, излучаемого в видимом оптическом диапазоне плазмой разряда. Найдены оптимальные условия для синтеза бинарных соединений TiN, которые обеспечиваются поддержанием величины интенсивности выбранных спектральных линий реагирующих компонент и плазмообразующего газа. Проведена характеризация синтезированных пленок. PACS: 52.25.Tx, 52.25.Xz, 52.70.Kz
  • Каштанов П.В., Смирнов Б.М., Хипплер Р. // УФН. 2007. Т. 175. N 5. С. 473-510
  • Golubovskii Yu.B., Porokhova I.A., Sushkov V.P., Holik M., Kudrna P., Tichy M. Effect of ionization models on the EDF in cylindrical magnetron discharges of direct and inverted designes. XXVII-=SUP=-th-=/SUP=- ICPIG. Eindhoven, Netherlands, 2005. Top. 3
  • Glocker D.A., Romach M.M., Lindberg V.W. // Surface and Coatings Technology. 2001. Vol. 146-147. P. 457-462
  • Гончаров А.А., Демчишин А.В., Демчишин А.А., Костин Е.Г.. Миченко В.А., Стеценко Б.В., Терновой Е.Г., Щуренко А.И. // ЖТФ. 2007. Т. 77. Вып. 8. С. 114-119
  • Морозов А.И. Введение в плазмодинамику. М.: Физматлит, 2006. 576 с
  • Larsson T., Blom H.-O., Neder C., and Berg S. // J. Vac. Sci. Technol. A. 1988. Vol. 6. N 3. P. 1832-1836
  • Berg S., Blom H.-O., Larsson T., and Neder C. // J. Vac. Sci. Technol. A. 1987. Vol. 5. N2. P. 202-207
  • Владимиров В.В., Горшков В.Н., Мотрич В.А., Панченко О.А., Стеценко Б.В., Скрипник Е.Ф. // ЖТФ. 1994. Т. 64. Вып. 5. С. 91-102
  • Pearse R.W.B., Gaydon A.G. The identification of molecular spectra. London: Halsted Press Book, 1976. 407 p
  • Зайдель А.Н., Прокофьеф В.К., Райский С.М., Славный В.А., Шрейдер Е.Я. Таблицы спектральных линий. М.: Наука, 1969. 784 с
  • Подсчитывается количество просмотров абстрактов ("html" на диаграммах) и полных версий статей ("pdf"). Просмотры с одинаковых IP-адресов засчитываются, если происходят с интервалом не менее 2-х часов.

    Дата начала обработки статистических данных - 27 января 2016 г.