"Журнал технической физики"
Издателям
Вышедшие номера
Эмиссия квазитепловых ионов при бомбардировке твердого тела кластерными ионами
Морозов С.Н.1, Расулев У.Х.1
1Институт электроники им. У.А. Арифова АН Республики Узбекистан, Ташкент, Узбекистан
Email: rasulev@aie.uz
Поступила в редакцию: 1 июля 2008 г.
Выставление онлайн: 19 июня 2009 г.

Проведены сравнительные исследования особенностей эмиссии квазитепловых атомарных и кластерных ионов при бомбардировке мишеней из V, Nb, Ta, Au, In кластерными ионами Aum- (m=1-9), а также мишеней из Si, Bi кластерными ионами Au-m (m=1-9), Bi-m (m=1-5) в диапазоне значений энергий E0=6-21 keV. При бомбардировке тяжелыми кластерными ионами доля квазитепловой компоненты в энергетических спектрах распыленных атомарных ионов достигала 50% (V, In, Au), 70% (Nb) и более 90% (Ta). Наблюдался также заметный вклад квазитепловых ионов в эмиссию малых кластерных ионов Au2+, In+2, In+3, Bi+n (n=2-7). Результаты обобщающих исследований выявляют аргументы в пользу наличия режима тепловых пиков при кластерной бомбардировке и его существенного вклада в эмиссию атомарных и малых кластерных ионов. PACS: 79.20.Rf, 79.40.+z, 36.40.Wa, 68.49.Sf
  • Распыление под действием бомбардировки частицами / Пер. с англ.; под ред. Р. Бериша и К. Виттмака. Вып. III. М.: Мир, 1998. 551 с
  • Andersen H.H. // Mat. Fys. Medd. Dan. Vid. Selsk. 1993. Vol. 43. P. 127
  • Sigmund P. // Nucl. Instr. Meth. B. 1987. Vol. 27. P. 1
  • Bounaau S., Brunelle A., Della-Negra S., Depauw J., Jacquet D., Le Beyec Y., Pautrat M., Fallavier M., Poizat J.C., Andersen H.H. // Phys. Rev. B. 2002. Vol. 65. P. 144 106
  • Belykh S.F., Habets B., Rasulev U.Kh., Samartcev A.V., Stroev L.V., Veryovkin I.V. // Nucl. Instr. Meth. B. 2000. Vol. 164--165. P. 809
  • Morozov S.N., Rasulev U.Kh. // Nucl. Instr. Meth. B. 2003. Vol. 203. P. 192
  • Sigmund P., Claussen C. // J. Appl. Phys. 1981. Vol. 52. P. 990
  • Claussen C. // Nucl. Instr. Meth. 1982. Vol. 194. P. 567
  • Merkle K.L., Jager W. // Philos. Mag. A. 1981. Vol. 44. N 4. P. 741
  • Andersen H.H., Bay H.L. // J. Appl. Phys. 1974. Vol. 45. P. 953
  • Ahmad S., Farmey B.W., Thompson M.W. // Nucl. Instr. Meth. 1980. Vol. 170. P. 327
  • Ahmad S., Farmery B.W., Thompson M.W. // Philos. Mag. 1981. Vol. 44. P. 1383
  • Johar S.S., Thompson D.A. // Surface Science. 1979. Vol. 90. P. 319
  • Kelly R., Oliva A. // Nucl. Instr. Meth. B. 1986. Vol. 13. P. 283
  • Falcone G. // EAY. 1992. T. 162. C. 71
  • Морозов С.Н., Расулев У.Х. // Письма в ЖТФ. 2003. Т. 29. Вып. 2. С. 77
  • Morozov S.N., Rasulev U.Kh. // Appl. Surf. Sci. 2004. Vol. 231--232. P. 78
  • Морозов С.Н., Расулев У.Х. // Изв. РАН. Сер. физ. 2004. Т. 68. N 3. С. 393
  • Морозов С.Н., Расулев У.Х. // Изв. РАН. Сер. физ. 2006. Т. 70. N 8. С. 1192
  • Akhunov Sh., Morozov S.N., Rasulov U.Kh. // Nucl. Instr. Meth. B. 2003. Vol. 203. P. 146
  • Sigmund P. and Szymonski M. // Appl. Phys. A. 1984. Vol. 33. P. 141
  • Подсчитывается количество просмотров абстрактов ("html" на диаграммах) и полных версий статей ("pdf"). Просмотры с одинаковых IP-адресов засчитываются, если происходят с интервалом не менее 2-х часов.

    Дата начала обработки статистических данных - 27 января 2016 г.