"Журнал технической физики"
Издателям
Вышедшие номера
Компьютерное моделирование шестиполюсных корректоров аберраций
Баранова Л.А., Read F.H., Cubric D.1
1Shimadzu Research Laboratory (Europe), Trafford Wharf Road, Manchester M17 1GP, UK
Email: l.baranova@mail.ioffe.ru
Поступила в редакцию: 27 мая 2008 г.
Выставление онлайн: 19 июня 2009 г.

Исследованы особенности применения шестиполюсных электронно-оптических элементов для коррекции сферической аберрации объектива низковольтного растрового электронного микроскопа. По сравнению с известными и хорошо изученными квадрупольно-октупольными корректорами шестиполюсные системы конструктивно более просты, их легче настроить и они менее чувствительны к погрешностям изготовления и нестабильности питания. Рассмотрены два типа шестиполюсных корректоров, имеющих следующие конфигурации: RHRHR и HRRH (R --- осесимметричная линза, round lens, и H --- шестиполюсник, hexapole). Обе конфигурации обеспечивают существенное уменьшение сферической аберрации объектива электронного микроскопа, но не корректируют хроматической аберрации. Вторая конфигурация обладает весьма существенными преимуществами по сравнению с первой: она имеет более простые конструкцию и систему питания, а также допускает более простую процедуру настройки. Как показали исследования, дополнительными преимуществами второй конфигурации являются более низкие потенциалы на электродах, более высокая точность коррекции аберраций и меньшая чувствительность к погрешностям изготовления. С другой стороны, хроматическая аберрация второй конструкции несколько больше, чем первой. PACS: 02.70.Pt, 41.85.Gy, 41.85.Ne, 68.37.Hk
  • Scherzer O. // Optik. 1947. Vol. 2. P. 114
  • Zach J., Haider M. // Nucl. Instrum. Meth. A. 1995. Vol. 363. P. 316
  • Honda K., Takashima S. // JEOL News. 2003. Vol. 38. N 1. P. 36
  • Uno Sh., Honda K., Nakamura N., Matsuya M., Zach J. // Optik. 2005. Vol. 116. P. 438
  • Crewe A.V., Kopf D. // Optik. 1980. Vol. 55. P. 1
  • Crewe A.V. // Optik. 1984. Vol. 69. P. 24
  • Rose H. // Nucl. Instrum. Meth. 1981. Vol. 187. P. 187
  • Rose H. // Optik. 1990. Vol. 85. P. 19
  • Shao Zh. // Optik. 1988. Vol. 80. P. 61
  • Haider M., Braunshausen G., Schwan E. // Optik. 1995. Vol. 99. P. 167
  • Read F.H., Bowring N.J. // CPO programs <www.electronoptic.com>
  • Подсчитывается количество просмотров абстрактов ("html" на диаграммах) и полных версий статей ("pdf"). Просмотры с одинаковых IP-адресов засчитываются, если происходят с интервалом не менее 2-х часов.

    Дата начала обработки статистических данных - 27 января 2016 г.