"Журнал технической физики"
Издателям
Вышедшие номера
Неупругие потери энергии при однократных и двукратных соударениях ионов Ar+ keV энергии с мишенями из Be, C, Al, Si, Ge и In
Бабенко П.Ю.1, Шергин А.П.1
1Физико-технический институт им. А.Ф. Иоффе РАН, Санкт-Петербург, Россия
Email: babenko@npd.ioffe.ru
Поступила в редакцию: 10 июля 2008 г.
Выставление онлайн: 19 июня 2009 г.

Методом спектроскопии медленных рассеянных ионов определены значения неупругих потерь энергии Q при рассеянии ионов Ar+ с первоначальной энергией E0=5 keV на мишенях из Be, C, Al, Si, Ge и In. Несмотря на то что подавляющее большинство прикладных исследований по анализу элементного состава и структуры материалов для современной электроники выполнено с использованием пучков ионов Ar+, данных по неупругим потерям для этих бомбардирующих частиц крайне мало. Показано, что знание величины Q позволяет правильно интерпретировать энергетические спектры частиц, эмитированных при ионном облучении поверхности. PACS: 34.50.Dy
  • Машкова Е.С., Молчанов В.А. Расеяние ионов средних энергий поверхностями твердых тел. М.: Атомиздат, 1980. 256 с
  • Bertrand P., Ghalim M. // Physica Scripta. 1983. Vol. 6. P. 168--172
  • Ascione F., Manico G., Alfano P. et al. // NIM B. 1998. Vol. 135. N 1--4. P. 401--406
  • Xu F., Manico G., Ascione F. et al. // Phys. Rev. A. 1998. Vol. 57. N 2. P. 1096--1107
  • Tolstogouzov A., Daolio S., Pagura C. // Surface Sci. 1999. Vol. 441. N 1. P. 213--222
  • Li T., MacDonald R.G. // Surface Sci. 1996. Vol. 351. N 1--3. P. 319--331
  • Umarov F.F., Narkulov N., Abdulkasymov F.B. // NIM B. 2000. Vol. 164--165. P. 656--661
  • Шергин А.П., Шайкин А.В. // Изв. РАН. Сер. физ. 2002. Т. 66. N 4. С. 467--471
  • Экштайн В. Компьютерное моделирование взаимодействия частиц с поверхностью твердого тела: Пер. с англ. М.: Мир, 1995. 321 с. (Eckstein W. Computer simulation of ion-solid interactions. Berlin: Springer-Verlag, 1991. 296 p.)
  • Фирсов О.Б. // ЖЭТФ. 1959. Т. 36. N 5. С. 1517--1523
  • Komarov F.F., Kumakhov M.A. // Physica Stat. Sol. B. 1973. Vol. 58. N 1. P. 389--400
  • Winecki S., Stockli M.P., Cocke C.L. // Phys. Rev. A. 1997. Vol. 55. N 6. P. 4310--4317
  • Fano U., Lichten W. // Phys. Rev. Lett. 1965. Vol. 14. N 16. P. 627--629
  • Benazeth N., Agusti J., Benazeth C. et al. // NIM. 1976. Vol. 132. P. 477--482
  • Бараджиола Р.А. Взаимодействие заряженных частиц с твердым телом: Пер. с англ. М.: Высш. шк., 1994. 752 с. (Baragiola R.A. Interaction of charged particles with solids and surfaces. NY: Plenum Press, 1991. 716 p.)
  • Landolt H., Bornstein R. Zahlenwerte und Funktionen, 1. Band--Atom--und Molekularphysik, 1. Teil Atome und Ionen. Berlin: Springer-Verlag, 1950. 442. s
  • Подсчитывается количество просмотров абстрактов ("html" на диаграммах) и полных версий статей ("pdf"). Просмотры с одинаковых IP-адресов засчитываются, если происходят с интервалом не менее 2-х часов.

    Дата начала обработки статистических данных - 27 января 2016 г.