Вышедшие номера
Home » Журнал технической физики » Год 2009, выпуск 6 » Статья стр. 21
<<<>>>
Сечения торможения ионов азота с энергией 50-230 keV в кремнии, измеренные методом обратного рассеяния ионов
Афросимов В.В.1, Денисов Д.В.1, Ильин Р.Н.1, Сахаров В.И.1, Серенков И.Т.1
1Физико-технический институт им. А.Ф. Иоффе РАН, Санкт-Петербург, Россия
Email: r.ilin@mail.ioffe.ru
Поступила в редакцию: 3 сентября 2008 г.
Выставление онлайн: 20 мая 2009 г.
PDF версия
С целью развития метода диагностики тяжелых примесей в пленках нанометровых толщин методом обратного рассеяния тяжелых ионов (ОРТИ) измерена зависимость полного сечения торможения sigmaS(E) ионов азота с энергией 50-230 keV в кремнии. Полученная зависимость sigmaS(E) при энергии ионов ниже 150 keV занимает промежуточное положение между зависимостями, приводимыми в базах данных SRIM и MSTAR, а при более высоких - близка к первой. Оценки влияния неупругих процессов на определяемую величину сечения торможения показали, что для ионов азота влиянием этих процессов при исследовании тяжелых примесей в пленках методом ОРТИ можно пренебречь. PACS: 61.85.+p, 79.20.Rf, 82.80.Yc
  1. Huttner D., Gunter U., Meyer D., Reiner D., Linker G. // Appl. Phys. Lett. 1994. Vol. 65. P. 2863
  2. Афросимов В.В., Дзюба Г.О., Ильин Р.Н., Панов М.Н., Сахаров В.И., Серенков И.Т., Ганза Е.А. // ЖТФ. 1996. Т. 66. Вып. 12. С. 76
  3. Doule B.L., Knapp J.A., Buller D.L. // Nucl. Instr. Meth. 1989. Vol. B 42. P. 295
  4. Braunstein G., Duffy M., Maina S., Tonner B., Banks J.C. // Nucl. Instr. Meth. 2004. Vol. B 219--220. P. 358
  5. Денисов Д.В., Серенков И.Т., Сахаров В.И., Цирлин Г.Э., Устинов В.М. // ФТТ. 2003. Т. 45. Вып. 11. С. 2090
  6. Paul H., Schinner A. // Nucl. Instr. Meth. 2003. Vol. B 209. P. 252
  7. Ziegler J.F. // Nucl. Instr. Meth. 2004. Vol. B 219--220. P. 1027
  8. Zeigler J.F. <http://www.srim.org/>
  9. Zeigler J.F., Biersack J., Littmark U. The Stopping and Ranges of Ions in Matter. Oxford: Pergamon Press, 1985
  10. Paul H., Schinner A. // At. Data Nucl. Data Tables. 2003. Vol. 85. P. 377
  11. Paul H., Schinner A. // Nucl. Instr. Meth. 2001. Vol. B 179. P. 299
  12. Paul H., Schinner A. // Nucl. Instr. Meth. 2002. Vol. B 195. P. 166
  13. Paul H. <http://www.exphys.uni-linz.ac.at/stopping/>
  14. Bauer P. // Nucl. Instr. Meth. 1976. Vol. B 27. P. 301
  15. Афросимов В.В., Ильин Р.Н., Карманенко С.Ф., Сахаров В.И., Серенков И.Т. // ФТТ. 2003. Т. 45. Вып. 11. С. 2030
  16. Bauer P., Semraa D., Mertens P. // Nucl. Instr. Meth. 1985. Vol. B 12. P. 56
  17. Lennard W.N., Geissel H. // Nucl. Instr. Meth. 1987. Vol. B 27. P. 338
  18. Niemann D., Ronac G., Kalbitzer S. // Nucl. Instr. Meth. 1990. Vol. B 118. P. 11
  19. Sigmund P., Winterbon K.B. // Nucl. Instr. Meth. 1974. Vol. B 119. P. 541
  20. Afrosimov V.V., Il'in R.N., Karmanenko S.F., Malkov A.A., Sakharov V.I., Serenkov I.T. // Thin Solid Films. 2005. Vol. 492. P. 146
  21. Афросимов В.В., Ильин Р.Н., Карманенко С.Ф., Сахаров В.И., Семенов А.А., Серенков И.Т., Яновский Д.В. // ФТТ. 1999. Т. 41. Вып. 4. С. 588
  22. Janni J.F. // At. Data Nucl. Data Tables. 1982. Vol. 27. P. 341
  23. Yang Q., O Connor D.J. // Nucl. Instr. Meth. 1991. Vol. B 61. P. 149
  24. Grahmann H., Kalbitzer S. // Nucl. Instr. Meth. 1976. Vol. 132. P. 119
  25. Kalbitzer S., Oetzmann H., Grahmann H., Feuerstein A. // Z. Phys. A. 1976. Bd 278. S. 223
  26. Santry D.C., Werner R.D. // Nucl. Instr. Meth. 1991. Vol. B 53. P. 7
  27. Semrad D., Bauer P. // Nucl. Instr. Meth. 1985. Vol. B 12. P. 24

Подсчитывается количество просмотров абстрактов ("html" на диаграммах) и полных версий статей ("pdf"). Просмотры с одинаковых IP-адресов засчитываются, если происходят с интервалом не менее 2-х часов.

Дата начала обработки статистических данных - 27 января 2016 г.

Учредители

Издатель

© 2024 Физико-технический институт им. А.Ф. Иоффе Российской академии наук
Powered by webapplicationthemes.com - High quality HTML Theme