Вышедшие номера
Home » Журнал технической физики » Год 2009, выпуск 5 » Статья стр. 150
<<<>>>
Взаимодействие атомов кобальта с окисленной поверхностью Si (111)7x 7
Гомоюнова М.В.1, Войстрик Т.Е.1, Пронин И.И.1
1Физико-технический институт им. А.Ф. Иоффе РАН, Санкт-Петербург, Россия
Email: Marina.Gomoyunova@mail.ioffe.ru
Поступила в редакцию: 9 июля 2008 г.
Выставление онлайн: 19 апреля 2009 г.
PDF версия
Методом фотоэлектронной спектроскопии высокого разрешения (100 meV) с использованием синхротронного излучения изучено взаимодействие атомов кобальта с поверхностью Si (111)7x 7, окисленной in situ в атмосфере кислорода при давлении 10-5 Pa (экспозиция 20 Лэнгмюр) и температуре 500oC. Показано, что такая обработка поверхности приводит к образованию окисной пленки сложного состава, занимающей примерно 80% поверхности подложки и имеющей толщину ~6 Angstrem. Обнаружено, что при комнатной температуре в области покрытий до 6 монослоев, атомы кобальта не адсорбируются на сформированном окисном слое, а мигрируют к пятнам чистой поверхности кремния. На этих участках сначала образуется тонкий слой дисилицида кобальта, а затем на нем растет твердый раствор Co-Si. Часть атомов кобальта проникает под окисный слой, образуя на границе SiOx-Si трехкомпонентную интерфейсную фазу Co-Si-O, а также метастабильный дисилицид кобальта со структурой типа CsCl. PACS: 68.37.-d, 79.60.-i
  1. Tung T.R. // Appl. Phys. Lett. 1996. Vol. 68. N 24. P. 3461--3463
  2. Tung T.R. // Jpn. J. Appl. Phys. 1997. Vol. 36. P. I. 3B. P. 1650--1653
  3. Hayasshi Y., Yoshinaga M., Ikeda H. et al. // Surf. Sci. 1999. Vol. 438. P. 116--122
  4. Takahashi F., Irie T., Shi J. et al. // Appl. Surf. Sci. 2001. Vol. 169--170. P. 315--319
  5. Гомоюнова М.В., Пронин И.И., Гааль Н.Р. // Письма в ЖТФ. 2004. Т. 30. Вып. 20. С. 17--24
  6. Гомоюнова М.В., Пронин И.И., Малыгин Д.Е. и др. // ФТТ. 2006. Т. 47. C. 1901--1906ю
  7. Gomoyunova M.V., Pronin I.I., Malygin D.E. et al. // Surf. Sci. 2006. Vol. 600. P. 2449--2456
  8. Westphal C., Dreiner S., Schurmann M. et al. // Surf. Rev. Lett. 2002. Vol. 9. N 2. P. 735--740
  9. Egelhoff W.F., jr. // Surf. Science Reports. 1987. Vol. 6. P. 253--415
  10. Гомоюнова М.В., Пронин И.И. // ЖТФ. 2004.Т. 74. вып. 10. С. 1--34
  11. Uhrberg R.I.G., Kaurila T., Chao Y.--C. // Phys. Rev. B. 1998. Vol. 58. N 4. P. R1730--1733
  12. Himpsel F.J., McFeely F.R., Taleb-Ibrahimi A. et al. // Phys. Rev. B. 1988. Vol. 5. N 9. P. 6084--6096
  13. Sieger M.T., Luh D.A., Miller T. et al. // Phys. Rev. Lett. 1996. Vol. 77. N 13. P. 2758--2761
  14. Nishimura T., Hoshino Y., Namba H. et al. // Surf. Sci. 2000. Vol. 461. N 1--3. P. 146--154
  15. Yeom H.W., Uhrberg R. // Jpn. J. Appl. Phys. 2000. Vol. 39. N 7. P. 4460--4463
  16. Hoshimo H., Nishimura T., Nakada T. et al. // Surf. Sci. 2000. Vol. 488. P. 249--255
  17. Boscherini F., Joyce J.J., Ruckman M.W. et al. // Phys. Rev. B. 1987. Vol. 35. N 9. P. 4216-4220
  18. Flammini R., Wiame F., Belkhou R. et al. // Appl. Surf. Sci. 2001. Vol. 233. P. 411--418
  19. Gallego J.M., Miranda R., Molodtsev S. et al. // Surf. Sci. 1990. Vol. 239. N 3. P. 203--212
  20. Rangelov G., Augustin P., Stober J. et al. // Phys. Rev. B. 1994. Vol. 49. N 11. P. 7535--7542
  21. Rabgelov G., Fauster Th. // Surf. Sci. 1996. Vol. 365. N 2. P. 403--410
  22. Rangelov G., Augustin P., Stober J. et al. // Surf. Sci. 1994. Vol. 307--309. P. 264--268
  23. Pirri C., Hong S., Tuilier M.H., Wenzel P., Gewinner G. // Phys. Rev. B. 1996. Vol. 53. N 3. P. 1368--1376
  24. Gomoyunova M.V., Pronin I.I., Gall N.R. // Surf. Sci. 2005. Vol. 578. P. 176--182
  25. Luh D.A., Miller T.-C. // Phys. Rev. Lett. 1997. Vol. 79. N 16. P. 3014--3017

Подсчитывается количество просмотров абстрактов ("html" на диаграммах) и полных версий статей ("pdf"). Просмотры с одинаковых IP-адресов засчитываются, если происходят с интервалом не менее 2-х часов.

Дата начала обработки статистических данных - 27 января 2016 г.

Учредители

Издатель

© 2024 Физико-технический институт им. А.Ф. Иоффе Российской академии наук
Powered by webapplicationthemes.com - High quality HTML Theme