Формирование наноразмерных частиц карбида кремния и алмазов в поверхностном слое кремниевой мишени при короткоимпульсной имплантации ионов углерода
Ремнёв Г.Е., Иванов Ю.Ф., Найден Е.П., Салтымаков М.С., Степанов А.В., Штанько В.Ф.1
1Национальный исследовательский Томский политехнический университет, Томск, Россия
Email: remnev@hvd.tpu.ru
Поступила в редакцию: 5 августа 2008 г.
Выставление онлайн: 19 марта 2009 г.
Представлены результаты исследования синтеза наноразмерных частиц карбида кремния и алмазов при короткоимпульсной имплантации ионов углерода и протонов в кремниевую мишень. Эксперименты проведены с использованием источника импульсных мощных ионных пучков "ТЕМП" на основе магнитоизолированного диода с радиальным магнитным полем Br. Параметры пучка: энергия ионов 300 keV, длительность импульса 80 ns, состав пучка ионы углерода и протоны, плотность ионного тока 30 A/cm2. В качестве мишени использованы пластины монокристаллического кремния. При последовательном воздействии более 100 импульсов наблюдалось формирование в поверхностном слое кремния наноразмерных частиц SiC и наноалмазов. Средний размер области когерентного рассеяния частиц SiC и наноалмазов 12-16 и 8-9 nm соответственно. PACS: 78.67.Bf
- Лебедев А.А., Зеленин В.В., Абрамов П.Л. // ФТП. 2007. N 41. С. 273
- Иванов П.А., Левинштейн М.Е. // ФТП. 2005. N 39. С. 897-898
- Баталов Р.И., Баязитов Р.М., Нурутдинов Р.М. // Изв. вузов. Материалы электронной техники. 2006. N 1. С. 28-34
- Li N.S., Wu X.H., Liao L.S., Bao X.M. // Nuclear Instr. and Meth. In Phys. Res. B. 1998. Vol. 142. N 3. P. 308-312
- Canham L.T., Barraclough K.G., Robbins D.J. // Appl. Phys. Lett. 1987. Vol. 51. N 19. P. 1509-1511
- Hodson R.T., Baglin J.E.E., Pal R. et al. // Appl. Phys. Lett. 1980. Vol. 37. N 2. P. 187-189
- Комаров Ф.Ф., Новиков А.П. // Новые методы ионно-лучевой обработки полупроводниковых материалов. Итоги науки и техники. Сер.: Физические основы лазерной и пучковой технологии. 1989. Т. 5. С. 113-159
- Иванов Ю.Ф., Опекунов М.С., Музыревич А.Г., Ремнёв Г.Е. // Письма в ЖТФ. 1995. Т. 21. Вып. 24. С. 60-65
- Лопатин В.С., Ремнев Г.Е., Фурман Э.Г. и др. // ПТЭ. 2004. N 4. С. 70-75
Подсчитывается количество просмотров абстрактов ("html" на диаграммах) и полных версий статей ("pdf"). Просмотры с одинаковых IP-адресов засчитываются, если происходят с интервалом не менее 2-х часов.
Дата начала обработки статистических данных - 27 января 2016 г.
