Образование и электронно-лучевой отжиг имплантационных дефектов в тонкопленочной гетероструктуре Si-SiO2
Зацепин А.Ф., Касчиева С., Бирюков Д.Ю., Дмитриев С.Н., Бунтов Е.А.1
1Уральский государственный технический университет, Екатеринбург, Россия
Email: zats@dpt.ustu.ru
Поступила в редакцию: 4 июня 2008 г.
Выставление онлайн: 20 января 2009 г.
Методом фотостимулированной электронной эмиссии (Optically Stimulated Electron Emission - OSEE) исследованы радиационные дефекты в пленках SiO2 (20 nm) на кремниевой подложке. Под воздействием ускоренных ионов кремния (12 keV) обнаружено образование различных кислородно-дефицитных центров, среди которых доминирующими являются дефекты E'-типа. Последующее облучение электронами с энергией 23 MeV вызывает трансформацию дефектной структуры пленки SiO2, состоящую в эффективном распаде дефектов, индуцированных ионной имплантацией. PACS: 61.80.Fe, 68.55.Ln, 79.60.-I
- Kaschieva S., Danesh P., Djakov A. // Phys. Stat. Sol. (a). 1984. Vol. 83. P. 141
- Kaschieva S., Nedev N., Danesh P., Djakov A. // Rad. Effects Lett. 1985. Vol. 85. P. 225
- Kaschieva S. and Danesh P. // Nucl. Instr. Meth. in Phys. Res. B. 1997. Vol. 129. P. 551
- Kaschieva S., Djakov A. // Rad. Effects Lett. 1986. Vol. 87. P. 185
- Kaschieva S. and Yorukov I. // Sol. State Electr. 1998. Vol. 42. P. 1835
- Kaschieva S. and Yorukov I. // Nucl. Instr. Meth. in Phys. Res. B. 2000. Vol. 170. P. 385
- Kaschieva S., Stefanov K., Karpusov D. // Appl. Phys. A. 1998. Vol. 66. P. 561
- Kaschieva S. and Alexanrdova S. // Nucl. Instr. Meth. in Phys. Res. B. 2001. Vol. 174. P. 324
- Zatsepin A.F., Biryukov D.Yu., Kortov V.S. // Phys. Stat. Sol. (a). 2005. Vol. 202. N 10. P. 1935--1947
- Зацепин А.Ф., Бирюков Д.Ю., Кортов В.С. // ФТТ. 2006. Т. 48. Вып. 2. С. 229--238
- Skuja L. // J. Non-Cryst. Solids. 1998. Vol. 239. P. 16--48
- Радциг В.А. // Хим. физика. 1995. Т. 14. N 8. С. 125
- Balasinski A., Ma T.P. // Appl. Phys. Lett. 1993. Vol. 62. P. 3170
Подсчитывается количество просмотров абстрактов ("html" на диаграммах) и полных версий статей ("pdf"). Просмотры с одинаковых IP-адресов засчитываются, если происходят с интервалом не менее 2-х часов.
Дата начала обработки статистических данных - 27 января 2016 г.
© 2024 Физико-технический институт им. А.Ф. Иоффе Российской академии наук