Расчет спектров самораспыления тонких пленок методом дискретных потоков
Барат А.А.1, Манухин В.В.1
1Московский энергетический институт (Технический университет), Москва, Россия
Email: artyom-b@mail.ru
Поступила в редакцию: 27 июля 2007 г.
Выставление онлайн: 20 января 2009 г.
Самораспыление плоскопараллельных слоев описано теоретически на основе совместного использования метода инвариантного погружения и метода дискретных потоков. Получены дифференциальные уравнения для функций прямого и обратного самораспыления, найдены их точные решения. Найденные энергетические распределения самораспыленных ионов и полные коэффициенты самораспыления сравниваются с результатами компьютерного эксперимента. Проанализированы зависимости полных коэффициентов самораспыления от толщины пленки и начальной энергии ионов. PACS: 68.49.Sf, 72.10.Bg, 02.30.Rz
- Распыление твердых тел ионной бомбардировкой / Под ред. Р. Бериша. М.: Мир, 1984. Т. 1. 336 с
- Sigmund P. // Phys. Rev. 1969. Vol. 184. P. 377
- Waldeer K.T., Urbassek H.M. // Appl. Phys. A. 1988. Vol. 45. P. 207
- Tolmachev A.I. // Nucl. Instr. and Meth. B. 1993. Vol. 83. P. 479
- Чандрасекар С. Перенос лучистой энергии. М.: ИЛ, 1956. 431 с
- Schuster A. // Astrophys. J. 1905. Vol. 21. P. 1
- Амбарцумян В.А. // ЖЭТФ. 1943. Т. 13. С. 323
- Dashen R.V. // Phys. Rev. 1964. Vol. A134. P. 1025
- Маринюк В.В., Ремизович В.С. Изв. РАН. Сер. физ. 2006. Т. 64. С. 777
- Manukhin V.V. // Tech. Phys. 2005. Vol. 50. N 4. P. 394
- Eckstein W., Biersack J.P. // Cond. Matt. 1986. Vol. 63. P. 109
- Манухин В.В. // ЖТФ. 2007. Т. 77. Вып. 8. С. 6
- Камке Э. Справочник по дифференциальным уравнениям. М.: Наука, 1971. 576 с
- Корн Г., Корн Т. Справочник по математике для научных работников и инженеров. М.: Наука, 1984. 801 с
- Машкова Е.С., Молчанов В.А. Применение рассеяния ионов для анализа твердых тел. М.: Энергоатомиздат, 1995. 175 с
- Saidoh M., Sone K. // Jpn. J. Appl. Phys. 1983. Vol. 22. P. 1361
- Hechtl E., Bohdansky J., Roth J. // J. Nucl. Mater. 1981. Vol. 103--104. P. 333
Подсчитывается количество просмотров абстрактов ("html" на диаграммах) и полных версий статей ("pdf"). Просмотры с одинаковых IP-адресов засчитываются, если происходят с интервалом не менее 2-х часов.
Дата начала обработки статистических данных - 27 января 2016 г.
© 2025 Физико-технический институт им. А.Ф. Иоффе Российской академии наук
