Проведены исследования химического состава и трибологических свойств тонкопленочных покрытий из диселенида молибдена, полученных импульсным лазерным осаждением в вакууме и в разреженной атмосфере инертного газа (аргона). Установлено, что при осаждении в газе при давлении ~2 Pa формировались покрытия стехиометрического состава с улучшенными антифрикционными свойствами по сравнению с вакуумно-осажденными покрытиями. Однако чрезмерное повышение давления (до ~10 Pa) оказывало негативное влияние на трибологические свойства покрытия. Исследованы особенности структурообразования покрытий MoSe_x при импульсном лазерном осаждении на ненагретую подложку. Установлено, что в вакууме и в аргоне при давлении 2 Pa формировались достаточно гладкие покрытия с плотной аморфной структурой, содержащей наноразмерные включения молибдена. Осаждение при повышенном давлении аргона приводило к образованию развитого рельефа и неплотной структуры покрытия. Разработана математическая модель, основанная на кинетическом методе Монте-Карло и и описывающая формирование структуры покрытий при физическом осаждении потока атомов. В результате сравнительного анализа установлено удовлетворительное качественное совпадение характера структурообразования модельных и реальных покрытий, созданных импульсным лазерным осаждением в различных по давлению газа условиях. PACS: 68.55.at, 52.38.Mf, 62.20.Qp

Подсчитывается количество просмотров абстрактов ("html" на диаграммах) и полных версий статей ("pdf"). Просмотры с одинаковых IP-адресов засчитываются, если происходят с интервалом не менее 2-х часов.

Дата начала обработки статистических данных - 27 января 2016 г.