Исследование и моделирование роста твердосмазочных покрытий MoSex при импульсном лазерном осаждении
Неволин В.Н.1, Фоминский В.Ю.1, Гнедовец А.Г.1, Романов Р.И.1
1Московский инженерно-физический институт (Государственный университет), Москва, Россия
Email: vyfominskij@mephi.ru
Поступила в редакцию: 23 января 2008 г.
Выставление онлайн: 20 декабря 2008 г.
Проведены исследования химического состава и трибологических свойств тонкопленочных покрытий из диселенида молибдена, полученных импульсным лазерным осаждением в вакууме и в разреженной атмосфере инертного газа (аргона). Установлено, что при осаждении в газе при давлении ~2 Pa формировались покрытия стехиометрического состава с улучшенными антифрикционными свойствами по сравнению с вакуумно-осажденными покрытиями. Однако чрезмерное повышение давления (до ~10 Pa) оказывало негативное влияние на трибологические свойства покрытия. Исследованы особенности структурообразования покрытий MoSex при импульсном лазерном осаждении на ненагретую подложку. Установлено, что в вакууме и в аргоне при давлении 2 Pa формировались достаточно гладкие покрытия с плотной аморфной структурой, содержащей наноразмерные включения молибдена. Осаждение при повышенном давлении аргона приводило к образованию развитого рельефа и неплотной структуры покрытия. Разработана математическая модель, основанная на кинетическом методе Монте-Карло и и описывающая формирование структуры покрытий при физическом осаждении потока атомов. В результате сравнительного анализа установлено удовлетворительное качественное совпадение характера структурообразования модельных и реальных покрытий, созданных импульсным лазерным осаждением в различных по давлению газа условиях. PACS: 68.55.at, 52.38.Mf, 62.20.Qp
- Savan A., Simmonds M.C., Huang Y. et al. // Thin Solid Films. 2005. Vol. 489. P. 137--144
- Fominski V.Yu., Nevolin V.N., Romanov R.I. et al. // J. Appl. Phys. 2001. Vol. 89. P. 1449--1457
- Fominski V.Yu., Nevolin V.N., Romanov R.I. et al. // Tribology Letters. 2004. Vol. 17. N 2. P. 289--294
- Неволин В.Н., Фоминский В.Ю., Гнедовец А.Г. и др. // ЖТФ. 2007. Т. 77. Вып. 11. С. 88--95
- Fominski V.Yu., Markeev A.M., Nevolin V.N. et al. // Thin Solid Films. 1994. Vol. 248. P. 240--246
- Bortz A.B., Kalos M.H., Lebowitz J.L. // J. Comput. Phys. 1975. Vol. 17. P. 10--18
- Drotar J.T., Zhao Y.P., Lu T.M. et al. // Phys. Rev. B. 2000. Vol. 62. N 3. P. 2118--2125
- Karabacak T., Wang G.G., Lu T.M. // J. Appl. Phys. 2003. Vol. 94. N 12. P. 7723--7728
- Depla D., Chen Z.Y., Bogaerts A. et al. // J. Vac. Sci. Technol. A. 2004. Vol. 22. N 4. P. 1524---1529
- Liu Z.L., Yu L., Yao K.L. et al. // J. Phys. D: Appl. Phys. 2005. Vol. 38. P. 4202--4209
- Itina T.E. // J. Appl. Phys. 2001. Vol. 89. N 1. P. 740--746
- Morozov A.A., Geretovszky Z., Szorenyi T. // J. Phys. D: Appl. Phys. 2008. Vol. 41. N 1. P. 015 303 (1--6)
- Shtansky D.V., Lobova T.A., Fominski V.Yu. et al. // Surf. Coat. Tech. 2004. Vol. 183. P. 328--336
- Lieber C.M., Kim Y. // Thin Solid Films. 1991. Vol. 206. P. 355--359
Подсчитывается количество просмотров абстрактов ("html" на диаграммах) и полных версий статей ("pdf"). Просмотры с одинаковых IP-адресов засчитываются, если происходят с интервалом не менее 2-х часов.
Дата начала обработки статистических данных - 27 января 2016 г.
© 2024 Физико-технический институт им. А.Ф. Иоффе Российской академии наук