Формирование оксидных пленок титана на поверхности пористого карбида кремния
Бачериков Ю.Ю., Дмитрук Н.Л., Конакова Р.В., Кондратенко О.С., Миленин В.В., Охрименко О.Б., Капитанчук Л.М., Светличный А.М., Московченко Н.Н.1
1Таганрогский технологический институт Южного федерального университета, Таганрог, Россия
Email: svetlich@tsure.ru
Поступила в редакцию: 29 августа 2007 г.
Выставление онлайн: 20 августа 2008 г.
Рассмотрено влияние быстрой термической обработки (БТО) на свойства пленки титана на поверхности пористого карбида кремния. Показано, что повышение температуры БТО до 900oC стабилизирует фазовый состав возникающего оксида титана по всей толщине пленки, при этом фазовый состав полученных окисленных слоев идентифицируется как рутил. Зарегистрировано появление дополнительной полосы фотолюминесценции в области 2.5 eV, связанной с образованием при воздействии БТО нанокластеров оксида титана. На основании данных оже-спектрометрии предложена многослойная модель, с помощью которой проведен расчет оптических параметров пленок оксида титана на пористом карбиде кремния. PACS: 85.40.Sz, 81.07.-b
- Мынбаева М.Г., Лаврентьев А.А., Кузнецов Н.И. и др. // ФТП. 2003. Т. 37. Вып. 5. С. 612--615
- Сеченов Д.А., Агеев О.А., Касимов Ф.Д., Кадымов Г.Г. Газочувствительные датчики на основе карбида кремния. Баку: Мутарджим, 2004. 90 с
- Касимов Ф.Д., Гусейнов Я.Ю., Светличный А.М., Поляков В.В., Кочеров А.Н. Фотостимулированные процессы окисления карбида кремния. Баку: Мутарджим, 2005. 84 с
- Лазарев В.Б., Соболев В.В., Шаплыгин И.М. Химические и физические свойства простых оксидов металлов. М.: Наука, 1983. 239 с
- Анацкая Н.О., Осадчев Л.А., Савельев С.П. и др. // Обзоры по электронной технике. Сер. Материалы, Вып. 5 (968). М.: ЦНИИ "Электроника", 1983. 53 с
- Абрамов А.А., Ковтонюк Н.Ф., Лебедев Е.Н. и др. // Обзоры по электронной технике. Сер. Материалы, Вып. 14 (251). М.: ЦНИИ "Электроника", 1974. 45 с
- Konstantinov A.O., Henry A., Harris C.I. et al. // Appl. Phys. Lett. 1995. Vol. 66. N 17. P. 2250--2252
- Kotlyarchuk B.K., Myronyuk I.F., Popovych D.I., Serednytski A.S. // Physica and Chemistry of Solid State. 2006. Vol. 7. N 3. P. 490--494
- Melnyk V., Shymanovska V., Puchkovska G., Bezrodna T., Klishevich G. // J. of Molecular Structure. 2005. P. 573--576, 744--747
- Антонюк В.Н., Дмитрук Н.Л., Медведева М.Ф. Эллипсометрия в науке и технике. Новосибирск, 1987. С. 66--71
- Шуман В.Б., Савкина Н.С. // Письма в ЖТФ. 2002. Т. 28. Вып. 21. С. 48--50
Подсчитывается количество просмотров абстрактов ("html" на диаграммах) и полных версий статей ("pdf"). Просмотры с одинаковых IP-адресов засчитываются, если происходят с интервалом не менее 2-х часов.
Дата начала обработки статистических данных - 27 января 2016 г.
© 2024 Физико-технический институт им. А.Ф. Иоффе Российской академии наук