Кинетика дефектообразования в тонкопленочных вакуумных конденсатах
Фроленков К.Ю.1, Шоркин В.С.1
1Орловский государственный технический университет, Орел, Россия
Email: Lara@ostu.ru
Поступила в редакцию: 21 ноября 2006 г.
Выставление онлайн: 20 июля 2008 г.
Выдвинута гипотеза о взаимосвязи изменения относительной дефектной площади тонкопленочных покрытий с уменьшением в них внутренних напряжений с течением времени. Считая материал пленки вязкоупругим, подчиняющимся реологическому соотношению Максвелла-Томсона, на основании этой гипотезы получена и экспериментально проверена математичекая модель кинетики дефектообразования в тонкопленочных вакуумных конденсатах при нормальных условиях их хранения и эксплуатации. Удовлетворительное согласие расчетных и экспериментальных данных позволяет рекомендовать разработанную модель для качественной и количественной оценки процесса старения тонкопленочных покрытий, полученных методом конденсации в вакууме. PACS: 68.35.Dv, 68.60.-p
- Бабад-Захряпин А.А. Дефекты покрытий. М.: Энергоатомиздат, 1987. 152 с
- Фроленков К.Ю., Шоркин В.С., Ростовцев Н.М., Фроленкова Л.Ю., Раменская С.М. // Упрочняющие технологии и покрытия. 2006. N 8. С. 43-46
- Технология тонких пленок: Справочник / Под ред. Л. Майссела, Р. Глэнга. Т. 2. М.: Сов. радио. 1977. 768 с
- Шоркин В.С. // Тр. 5-й Междунар. конф. "Пленки и покрытия 98" / Под ред. В.С. Клубникина. СПб: Полиплазма, 1998. С. 380-383
- Веттегрень В.И., Гиляров В.Л., Рахимов С.Ш., Светлов В.Н. // ФТТ. 1998. Т. 40. Вып. 4. С. 668-671
- Веттегрень В.И., Рахимов С.Ш., Светлов В.Н. // ФТТ. 1998. Т. 40. Вып. 12. С. 2180-2183
- Орлов А.М., Соловьев А.А., Явтушенко И.О., Скворцов А.А. // ФТТ. 2007. Т. 49. Вып. 6. С. 1039-1043
- Малыгин Г.А. // УФН. 1999. Т. 169. N 9. С. 979-1010
- Огибалов П.М., Ломакин В.А., Кишкин Б.П. Механика полимеров. М.: Изд-во МГУ, 1975. 528 с
Подсчитывается количество просмотров абстрактов ("html" на диаграммах) и полных версий статей ("pdf"). Просмотры с одинаковых IP-адресов засчитываются, если происходят с интервалом не менее 2-х часов.
Дата начала обработки статистических данных - 27 января 2016 г.
© 2024 Физико-технический институт им. А.Ф. Иоффе Российской академии наук