Профили распределения атомов переходных металлов, имплантированных в матрицу диоксида титана при средних энергиях
Степанов А.Л., Валеев В.Ф., Нуждин В.И., Хайбуллин Р.И., Осин Ю.Н., Файзрахманов И.А.
Поступила в редакцию: 22 октября 2007 г.
Выставление онлайн: 20 июля 2008 г.
Моделирование профилей распределения по глубине атомов кобальта, хрома и меди с энергией 40 keV при имплантации дозами от 1016 до 1017 ion/cm2 в матрицу диоксида титана проведено с использованием программы DYNA, алгоритм которой основан на эффектах парных столкновений внедряемых ионов с атомами подложки, приводящих к динамическому изменению элементного состава приповерхностного слоя облучаемого материала, а также с учетом поверхностного распыления. Полученные результаты сопоставлены со стандартным статистическим распределением, рассчитанным по TRIM-алгоритму. PACS: 61.70.Tm, 61.80.Mk, 79.20.Nc
- Matsumoto Y., Murakami M., Shono T., Hasegawa T., Fukumura T., Kawasaki M., Ahmet P., Chikyow T., Koshihara S., Koinuma H. // Science. 2001. Vol. 291. P. 854--856
- Zheng S.K., Wang T.M., Wang C., Xiang G. // Nucl. Instr. Meth. In Phys. Res. B. 2002. Vol. 187. P. 479--484
- Tsuji H., Sagimori T., Kurita K., Gotoh Y., Ishikawa J. // Jurf. Coat. Technol. 2002. Vol. 158--159. P. 208--213
- Kim D.H., Yang J.S., Kim Y.S., Kim D.-W., Noh T.W., Bu S.D., Kim Y.-W., Park Y.D., Pearton S.J., Jo Y., Park J.-G. // Appl. Phys. Lett. 2003. Vol. 83. P. 4574--4576
- Shutthananda V., Thevuthasan S., Heald S.M., Droubay T., Engelhard M.H., Kaspar T.C., McCready D.E., Saraf L., Chambers S.A., Mun B.S., Hamdan N., Nachimuthu P., Taylor B., Sears R.P., Sinkovic B. // Appl. Phys. Lett. 2004. Vol. 84. P. 4466--4468
- Khaibullin R.I., Ibragimov Sh.Z., Tagirov L.R., Popok V.N., Khaibullin I.B. // Nucl. Instr. Meth. Phys. Res. B. 2007. Vol. 257. P. 369--373
- Ziegler J.F., Biersak J.P., Littmark U. The stopping and range of ions in solids. N.Y.: Pergamon, 1996. 192 p
- Hole D.E., Stepanov A.L., Townsend P.D. // Nucl. Instr. Meth. in Phys. Res. B. 1999. Vol. 148. P. 1054--1058
- Konoplev V.M. // Radiat. Eff. Lett. 1986. Vol. 87. P. 207--213
- Konoplev V.M. // Nucl. Instr. Meth. in Phys. Res. B. 1989. Vol. 43. P. 159--161
- Konoplev V.M., Vicanek M., Gras-Marti A. // Nucl. Instr. Meth. in Phys. Res. B. 1992. Vol. 67. P. 574--579
- Stepanov A.L., Zhikharev V.A., Hole D.E., Townsend P.D., Khaibullin I.B. // Nucl. Instr. Meth. in Phys. Res. B. 2000. Vol. 166--167. P. 26--30
- Townsend P.D., Chandler P.J., Zhang L. Optical effects of ion implantation. Cambridge: Univ. Press, 1994. 280 p
- Nastasi M., Mayer J.W., Hirvonen J.K. Ion-solid interactions: Fundamentals and applications. Cambridge: Univ. Press, 1996. 578 p
Подсчитывается количество просмотров абстрактов ("html" на диаграммах) и полных версий статей ("pdf"). Просмотры с одинаковых IP-адресов засчитываются, если происходят с интервалом не менее 2-х часов.
Дата начала обработки статистических данных - 27 января 2016 г.
© 2025 Физико-технический институт им. А.Ф. Иоффе Российской академии наук
