Нелинейный сдвиг частоты резонатора на поверхностных акустических волнах, работающего в режиме газового датчика
Крышталь Р.Г.1, Медведь А.В.1
1Фрязинский филиал Института радиотехники и электроники РАН, Фрязино, Московская область, Россия
Email: avm@ms.ire.rssi.ru
Поступила в редакцию: 26 июля 2007 г.
Выставление онлайн: 19 июня 2008 г.
Приведены результаты исследования сдвига резонансной частоты двухвходового кварцевого резонатора на поверхностных акустических волнах (ПАВ), работающего в режиме газового датчика без селективного слоя, в зависимости от мощности ПАВ, возбуждаемой в резонаторе. На рабочих частотах резонатора ~389 MHz в атмосфере протекающего газообразного азота, содержащего пары воды, обнаружен аномально большой положительный сдвиг резонансной частоты при увеличении мощности ПАВ >1 mW, на порядок величины превышающий сдвиг, обусловленный известным для кварцевых ПАВ-резонаторов амплитудно-частотным нелинейным эффектом. Проанализированы возможные физические механизмы наблюдаемого явления, приведены результаты, свидетельствующие о том, что такой сдвиг не является следствием прямого разогрева звукопровода сравнительно мощной ПАВ, а происходит из-за влияния мощной ПАВ на сорбционные процессы на активной поверхности резонатора. PACS: 43.25.Dc, 85.50.Gk
- Медведь А.В., Крышталь Р.Г., Богдасаров О.Е. // РиЭ. 2005. Т. 50. N 6. С. 1
- Kryshtal R.G., Medved A.V. / J. Electroceram. 2006. Vol. 17. N 2--4. P. 987
- Planat M., Hauden D., Groslambert J., Gagnepain J.J. // Proc. 34th Annual Freq. Control. Symp. Philadelphia, Pa., Electronic Industries Association, Washington, D.C., 1980. P. 255
- Gibson J.W., Meijer P. // J. Appl. Phys. 1974. Vol. 45. N 8. P. 3288
- Alippi A., Palma A., Palmieri L., and Socino G. // J. Appl. Phys. 1977. Vol. 48. N 6. P. 2182
- Grate J.W., and Klusty M. // Anal. Chem. 1991. Vol. 63. N 9. P. 1719
- Гуляев Ю.В., Земляков В.Е., Крышталь Р.Г., Медведь А.В., Шемет В.В., Ван Фонг Х. // Акустич. журн. 2001. Т. 47. Вып. 1. С. 52
- Nashiyama H. and Inoue Y. // Surface Sci. 2005. Vol. 594. N 1--3. P. 156
- Tseng W.K., Lin Jr.-L., Sung W.C., Chen S.H., and Lee G.-B. // J. Micromech. Microeng. 2006. Vol. 16. N 3. P. 539
Подсчитывается количество просмотров абстрактов ("html" на диаграммах) и полных версий статей ("pdf"). Просмотры с одинаковых IP-адресов засчитываются, если происходят с интервалом не менее 2-х часов.
Дата начала обработки статистических данных - 27 января 2016 г.
© 2024 Физико-технический институт им. А.Ф. Иоффе Российской академии наук