Вышедшие номера
Магнитоактивность пленок пермаллоя, выращенных в зоне рекомбинационного горения низкотемпературной плазмы
Александров В.А.1, Веселов А.Г.1
1Институт радиотехники и электроники РАН, Саратовский филиал, Саратов, Россия
Email: AlexandrovVA@gmail.com
Поступила в редакцию: 20 июня 2007 г.
Выставление онлайн: 18 февраля 2008 г.

Исследована зависимость магнитных свойств пленок пермаллоя от интенсивности бомбардировки подложки при синтезе пленки в области рекомбинационного горения плазмы тлеющего разряда. Обнаружена однозначная связь свойств пленок от интенсивности рекомбинационного горения. Изменение формы области рекомбинации позволили найти оптимальные условия синтеза пленок толщиной 30-60 nm при неоднородности магнитных свойств порядка 1% на холодных подложках, площадь которых сравнима с размерами зоны эрозии мишени. PACS: 68.55.-a, 78.66.-w