Вышедшие номера
Физическое и математическое моделирование процесса плазмохимического гетерогенного синтеза покрытий из плазменных потоков
Барвинок В.А.1, Богданович В.И.1
1Научно-исследовательский институт технологий и проблем качества при Самарском государственном университете им. С.П. Королева, Самара, Россия
Email: barvinok@ssau.ru
Поступила в редакцию: 20 декабря 2006 г.
Выставление онлайн: 20 декабря 2007 г.

Разработана физическая и математическая модель получения соединений переменного состава вакуумным ионно-плазменным методом. Конкретизация модели рассмотрена на основе синтеза покрытий из нитрида титана. Математическая модель учитывает такие основные стадии процесса, как адсорбция, десорбция, диссоциация, хемосорбция, аккомодация, распыление, поверхностная миграция. Она позволяет определить зависимость скорости роста покрытия, степени его стехиометрии и плотности заполнения адсорбционного слоя от основных физических параметров процесса. PACS: 52.77.Dq, 81.15.Aa