Метод определения температуры поверхности в области ее взаимодействия с потоком низкотемпературной плазмы
Казанский Н.Л., Колпаков А.И., Колпаков В.А., Паранин В.Д.
Поступила в редакцию: 20 марта 2007 г.
Выставление онлайн: 19 ноября 2007 г.
Предложен метод определения температуры поверхности в области ее взаимодействия с потоком низкотемпературной плазмы. Получено аналитическое решение граничной задачи теплопроводности для нестационарного случая на основе преобразования Лапласа. На основе теоретических и экспериментальных исследований полученных аналитических соотношений показано, что предложенный метод расчета позволяет оценить значение температуры с высокой точностью в реальном масштабе времени. Даны практические рекомендации по применению метода при формировании микро- и наноструктур в низкотемпературной плазме. PACS: 44.20.+b
- Методы компьютерной оптики / Под ред. В.А. Сойфера. М.: Физматлит, 2000. 688 с
- Орликовский А.А. // Микроэлектроника. 1999. Т. 28. N 5. С. 344--362
- Тихонов А.Н., Арсенин В.Я. Методы решения некорректных задач. М.: Наука, 1974. 224 с
- Алифанов О.М. // ИФЖ. 1983. Т. 45. N 5. С. 742--752
- Вабищевич П.Н., Пулатов П.А. // ИФЖ. 1986. Т. 51. N 3. С. 470--474
- Колпаков А.И., Колпаков В.А. // Письма в ЖТФ. 1999. Т. 25. Вып. 15. С. 58--65
- Самарский А.А., Вабищевич П.Н. Вычислительная теплопередача. М., 2003. 782 с
- Алифанов О.М. Обратные задачи теплообмена. М.: Машиностроение, 1988. 279 с
- Carslaw H.S., Jaeger J.C. Conduction of heat in solids. Oxford: Clarendon Press, 1956. ( Карслоу Г., Егер Д. Теплопроводность твердых тел. М.: Наука, 1964)
- Тихонов А.Н., Самарский А.А. Уравнения математической физики. М.: Изд-во МГУ, 1999. 798 с
- Диткин В.А., Прудников А.П. Интегральные преобразования и операционное исчисление. М.: Наука, 1974. 542 с
- Казанский Н.Л., Колпаков В.А., Колпаков А.И. // Микроэлектроника. 2004. Т. 33. N 3. С. 209--224
- Казанский Н.Л., Колпаков В.А. // Компьютерная оптика. 2003. N 25. С. 112--117
- Таблицы физических величин. Справочник / Под ред. И.К. Кикоина. М.: Атомиздат, 1976. 1008 с
- Колпаков В.А. // Микроэлектроника. 2002. Т. 31. N 6. С. 431--440
- Малкович Р.Ш. // Письма в ЖТФ. 2002. Т. 28. Вып. 21. С. 91--94
- Карташов Э.М. Аналитические методы в теплопроводности твердых тел. М.: Высш. шк., 2001. 552 с
Подсчитывается количество просмотров абстрактов ("html" на диаграммах) и полных версий статей ("pdf"). Просмотры с одинаковых IP-адресов засчитываются, если происходят с интервалом не менее 2-х часов.
Дата начала обработки статистических данных - 27 января 2016 г.
© 2024 Физико-технический институт им. А.Ф. Иоффе Российской академии наук