Журнал технической физики
Авторам
Вышедшие номера
- 2024
- 2023
- 2022
- 2021
- 2020
- 2019
- 2018
- 2017
- 2016
- 2015
- 2014
- 2013
- 2012
- 2011
- 2010
- 2009
- 2008
- 2007
- 2006
- 2005
- 2004
- 2003
- 2002
- 2001
- 2000
- 1999
- 1998
- 1997
- 1996
- 1995
- 1994
- 1993
- 1992
- 1991
- 1990
- 1989
- 1988
Интерференционный контроль асферических компонентов объектива для нанолитографии
1Государственный оптический институт им. С.И. Вавилова, Санкт-Петербург, Россия 
Поступила в редакцию: 30 мая 2006 г.
Выставление онлайн: 20 января 2007 г.
Развиты методики и схемы контроля формы EUV-зеркал на основе дифракционного интерферометра с компьютерной обработкой интерферограмм, обеспечивающие погрешность измерений менее 0.001 длины волны в видимой области спектра. PACS: 85.85.+j
- Andreev A.A., Limpouch J., Voznesensky N.B. et al. // Proc. SPIE. Vol. 5196. P. 128--136
- Voznesensky N.B., Zhevlakov A.P. // Proc. SPIE. Vol. 5582. P. 136--144
- Линник В.П. // Тр. ГОИ. Л., 1934. Т. X. Вып. 95
- Иванова Т.А., Кирилловский В.К. Проектирование и контроль оптики микроскопов. Л.: Машиностроение, 1984. 228 с
- Ли К. Исследование неоднородности волнового фронта, образованного в дифракционном интерферометре. Автореферат канд. дисс. СПбГУ ИТМО, 2004
- Voznesensky N.B. // Proc. SPIE. Vol. 3791. P. 147--157
- Voznesensky N.B. // Opt. Memory and Neural Networks. 2000. Vol. 9. N 3. P. 175--183
- Пуряев Д.Т. Методы контроля оптических асферических поверхностей. М.: Машиностроение, 1976. 262 с
Подсчитывается количество просмотров абстрактов ("html" на диаграммах) и полных версий статей ("pdf"). Просмотры с одинаковых IP-адресов засчитываются, если происходят с интервалом не менее 2-х часов.
Дата начала обработки статистических данных - 27 января 2016 г.
